液晶面板冷卻專用工業(yè)冷水機組是專為液晶面板（LCD）生產(chǎn)全流程研發(fā)的高精度溫控設(shè)備，提供 -40℃~+50℃寬溫域精準(zhǔn)控溫解決方案 ，集成超潔凈冷卻、動態(tài)負(fù)載調(diào)節(jié)及全流程智能監(jiān)控功能，精準(zhǔn)適配 TFT-LCD 陣列制程、CF 彩膜涂布、Cell 成盒及模組組裝等核心工藝?yán)鋮s需求。設(shè)備通過 SEMI S2/S8 半導(dǎo)體設(shè)備安全認(rèn)證、ISO 14644-1 潔凈室適配標(biāo)準(zhǔn)及 CE 合規(guī)設(shè)計，采用超潔凈不銹鋼全密閉循環(huán)系統(tǒng)，助力企業(yè)提升面板良率（≥98%）、降低能耗成本（綜合節(jié)能 35%）、確保生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定。

典型應(yīng)用場景

1. TFT-LCD 陣列制程

• 光刻曝光冷卻：在 15℃±0.1℃恒溫條件下，某企業(yè)曝光機鏡頭熱變形控制在 0.01μm 以內(nèi)，關(guān)鍵尺寸（CD）偏差減少 20%，面板分辨率提升至 8K 標(biāo)準(zhǔn)。

• 蝕刻工藝控溫：-5℃~10℃精準(zhǔn)控溫，某工廠蝕刻液溫度波動≤0.3℃，線路蝕刻均勻性提高 30%，廢品率下降至 1% 以下。

2. CF 彩膜涂布

• 顯影液冷卻：20℃±0.2℃穩(wěn)定控溫，某企業(yè)彩膜圖案邊緣粗糙度從 50nm 降低至 20nm，色偏 ΔE 值≤0.5，色彩還原度顯著提升。

• 干燥工序溫控：通過冷卻輥表面 25℃±0.3℃恒溫控制，某面板廠涂布膜厚均勻性從 ±5% 優(yōu)化至 ±2%，良率從 90% 提升至 96%。