FGL系列雙溫區(qū)­管式梯度爐(T max 1700℃和T max 1400℃)

FGL系列雙溫區(qū)­管式梯度爐專門設(shè)計(jì)用于雙溫區(qū)溫度梯度要求的CVD工藝，也可用于其它高溫材料的熱處理工藝。兩個(gè)溫區(qū)獨(dú)立控制，溫區(qū)可單獨(dú)使用，可提供較大梯度差的溫場(chǎng)。優(yōu)質(zhì)硅鉬棒、硅碳棒，硅碳棒，電阻絲組合加熱，在同一腔體內(nèi)實(shí)現(xiàn)不同的溫度差，是CVD工藝的理想設(shè)備。

特點(diǎn)

• 工作溫度RT～1600℃
• 爐管管徑40mm～80mm可選
• 溫區(qū)個(gè)數(shù)2個(gè)
• 高溫時(shí)溫度梯度可達(dá)400℃，低溫時(shí)溫度梯度可達(dá)600℃
• 程序控溫儀，智能邏輯PID算法，控制精準(zhǔn)?？删庉嫛?chǔ)存并調(diào)用多段程序，無需重新設(shè)置，操作簡(jiǎn)單。
• 爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)。
• 采用不銹鋼雙層密封法蘭，進(jìn)、出氣配美標(biāo)針閥。
• 兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)，延長(zhǎng)剛玉管使用壽命。
• 超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值自動(dòng)斷電。
• 安全保護(hù)當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。
• LED高強(qiáng)度抗破壞全不銹鋼按鈕，經(jīng)久耐用。
• 拓展選件: 爐內(nèi)測(cè)量系統(tǒng)（氧含量檢測(cè)系統(tǒng)、溫度檢測(cè)系統(tǒng)）；

真空系統(tǒng)（旋片式機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵機(jī)組）；

氣氛系統(tǒng)（浮子流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)）；

監(jiān)控系統(tǒng)：（溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控）；

注：給出的zui高溫度為工作管外測(cè)定，其它溫區(qū)個(gè)數(shù)和加熱區(qū)長(zhǎng)度可根據(jù)客戶工藝要求定制。