JIMA RT RC-05B分辨率測試卡是一款采用新半導(dǎo)體光刻技術(shù)制作的微型分辨率測試卡。它用于校準(zhǔn)和監(jiān)控系統(tǒng)分辨率,確保微焦點(diǎn)或納米焦點(diǎn)X射線檢測系統(tǒng)獲得高質(zhì)量的結(jié)果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米(3 µ m至50 µ m)的分辨率。這對應(yīng)于6微米和100微米(6 µ m和100 µ m)之間的焦斑尺寸。

16組I&T布局,2x2 mm,8x8 mm硅基,如上圖
下圖為尺寸為5 μm I&T的圖像
