應(yīng)用范圍
■半導(dǎo)體行業(yè):用于晶元6~12寸切割、清洗、再生、封測用水、半導(dǎo)體設(shè)備清洗、電子級無塵布無塵服清洗。
■太陽能光伏行業(yè):單晶硅、多晶硅切片清洗、太陽能電池、石英坩堝、多晶硅方舟、光伏玻璃、高純硅粉
■LCD、LED、OLED生產(chǎn)清洗用水,光學(xué)攝像頭清洗,光學(xué)材料清洗,導(dǎo)電玻璃清洗;
■半導(dǎo)體集成電路板,線路板生產(chǎn)清洗用超純水;
■鋰電池材料(磷酸鐵鋰、三元材料、鋰電池隔膜)、蓄電池、鋅錳電池生產(chǎn)用水
■電子級超純化學(xué)試劑用純水,納米級電子陶瓷材料純水、磁性材料用純水、有色金屬、貴金屬冶煉用水、航空新材料生產(chǎn)用水、電容器材料腐蝕化成工藝用水。
主要工藝及標(biāo)準(zhǔn):