超純水設(shè)備用途：
■半導(dǎo)體行業(yè)：用于晶元6~12寸切割、清洗、再生、封測(cè)用水、半導(dǎo)體設(shè)備清洗、電子級(jí)無(wú)塵布無(wú)塵服清洗。
■太陽(yáng)能光伏行業(yè)：?jiǎn)尉Ч琛⒍嗑Ч枨衅逑?、太?yáng)能電池、石英坩堝、多晶硅方舟、光伏玻璃、高純硅粉
■LCD、LED、OLED生產(chǎn)清洗用水，光學(xué)攝像頭清洗，光學(xué)材料清洗，導(dǎo)電玻璃清洗； ■半導(dǎo)體集成電路板，線路板生產(chǎn)清洗用超純水；
■鋰電池材料（磷酸鐵鋰、三元材料、鋰電池隔膜）、蓄電池、鋅錳電池生產(chǎn)用水
■電子級(jí)超純化學(xué)試劑用純水，納米級(jí)電子陶瓷材料純水、磁性材料用純水、有色金屬、貴金屬冶煉用水、航空新材料生產(chǎn)用水、電容器材料腐蝕化成工藝用水。
超純水設(shè)備參考標(biāo)準(zhǔn)：
電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50685-2011
?中國(guó)電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)指標(biāo) GB/T11446.1-2013
?電子級(jí)水測(cè)試方法通則 GB/T 11446.3-2013
?電子級(jí)水電阻率的測(cè)試方法 GB/T11446.4-2013
?電子級(jí)水中痕量金屬的原子吸收分光光度測(cè)試方法 GB/T114465-2013
?電子級(jí)水中痕量陰離子的離子色譜測(cè)試方法 GB/T11446.72013
?電子級(jí)水中總有機(jī)碳的測(cè)試方法 GB/T 11446.8-2013
?電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法 GB/T 11446.9 -2013
?電子級(jí)水細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測(cè)試方法 GB/T 11446.10-2013
?美國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)
超純水設(shè)備常用工藝：
