光氧催化區(qū)工作原理：通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無味氣體。采用C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質(zhì)分子結(jié)構(gòu)，將高分子污染物質(zhì)裂解、氧化成為低分子物質(zhì)，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化, 可滅，將有毒有害物質(zhì)破壞且改變成為低分子物質(zhì)。在C波段激光刺激催化劑涂層產(chǎn)生活性，強化催化氧化作用。在分解過程中產(chǎn)生高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),臭氧對有機物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的清理效果。O3也為強催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進(jìn)行氧化反應(yīng)，達(dá)到脫臭及菌的目的。
       對于等離子光氧一體機的應(yīng)用也比較廣泛，主要運用在造紙業(yè)、制藥行業(yè)、橡膠輪胎或者橡膠密封條生產(chǎn)車間、垃圾處理、皮革行業(yè)、印刷行業(yè)、香料生產(chǎn)業(yè)、飼料廠及農(nóng)藥生產(chǎn)廠等多個行業(yè)中的有毒有害氣體、惡臭和異味的處理，等離子氧一體機對部分行業(yè)的凈化效率在95%左右。