油擴散泵致命的缺點就是泵油返流污染被抽系統(tǒng)。經(jīng)過大量的研究，現(xiàn)代擴散泵由于增加了擋油帽、障板和冷阱等措施，使擴散泵的返油率降得很低。

所有的油擴散泵都存在一定程度的返流現(xiàn)象。返流的氣體是少量殘余的碳氫化合物。返流有兩個不同性質(zhì)的來源：泵油分子朝向擴散泵頂噴咀的上方運動構(gòu)成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的遷移或再蒸發(fā)。利用好的鍋爐和噴咀設(shè)計，可使主要的返流降至.低。在頂噴咀上方設(shè)置水冷擋油帽，它已成為頂噴咀專用的攔截返油的水冷裝置，由于不斷對冷帽結(jié)構(gòu)的改進，使主要返流大大降低。

利用水冷擋油帽，使泵的抽速稍有損失外，可使返油率降低。對于許多應(yīng)用場合是允許的。若在系統(tǒng)附加些管道、閥門和彎管，可使真空室的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的光學(xué)密閉的障板，可限制主要返流，但使泵的抽速約下降50%。

次要的返流（即冷凝在表面上的泵油遷移和再蒸發(fā)是表面溫度和泵油蒸汽壓的函數(shù)，到達真空室的這種返流量取決于設(shè)置在泵與真空室之間的冷阱的幾何形狀和溫度，常用液氮（ 77K）冷阱來捕集油分子。因此真空室的壓力明顯地低于泵油的蒸汽壓。障板或冷阱不僅必須光學(xué)密閉，而且還必須使進入障板或冷阱的油分子與冷面.少碰撞一次。對于使用吸附劑（如沸石）的障板，為避免油分子直線飛行，要設(shè)置交錯的吸附劑托盤。沸石是一種含有直徑比氣體分子直徑稍大的微孔物質(zhì)。1盎司（ 28.35g）沸石內(nèi)部約有5英畝吸附面積，在小型超高真空系統(tǒng)中，使用分子吸附劑障板是有效的。因為在低壓下，在幾個星期內(nèi)它能連續(xù)地吸附碳氫化合物和其它氣體，并不需要液氮。

現(xiàn)代的油擴散泵在泵入口處，泵油的返流已降至大約室溫下泵油蒸發(fā)速率的水平。