真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
- 更新時(shí)間：2020-01-08
- 產(chǎn)品型號(hào)：VTC-100PA
- 廠商性質(zhì)：代理商
- 產(chǎn)品品牌：合肥科晶
- 產(chǎn)品廠地：國(guó)外
- 訪問(wèn)次數(shù)：141
VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。
VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
產(chǎn)品概述：
VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。
主要特點(diǎn)：
- 真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便。
- 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。
- 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤(pán)，且更換方便簡(jiǎn)單。
- 設(shè)有12組程序，每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。
- 電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
- 50W/24V 直流電機(jī)
- 適于在Ar氣環(huán)境中工作（真空泵放置在手套箱外）
參數(shù)：
- 電機(jī)功率：50W/24V
- 速度范圍：500-10000rpm
- 程序運(yùn)行：可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段
- 增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s
- 時(shí)間范圍：0-60s
- 吸盤(pán)：Φ19mm、Φ60mm
進(jìn)氣口：上蓋有一個(gè)直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體，實(shí)現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆
可選加熱部分：上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測(cè)溫，數(shù)字溫控器控溫，高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽(yáng)能電池等研究。
產(chǎn)品規(guī)格：
- 尺寸：450mm×280mm×340mm；
- 重量：20kg
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