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COWAQ S150RTL-1自動(dòng)真空磁控離子濺射鍍膜儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱浙江納德科學(xué)儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)S150RTL-1
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)
  • 更新時(shí)間2024/10/5 7:12:29
  • 訪問次數(shù)135
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COWAQ S150RTL-1自動(dòng)真空磁控離子濺射鍍膜儀
COWAQ S150RTL-1自動(dòng)真空磁控離子濺射鍍膜儀 產(chǎn)品信息

COWAQ S150RTL-1自動(dòng)真空磁控離子濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
1.尺寸:D W 410 mm x 390 mm x 410 mm H重量:20KG
2.樣品腔室:150mm(D)×65mm(H)
3.選擇靶:57mm(D)x 0.1/0.2mm(厚度)(標(biāo)配靶:金)
4.旋轉(zhuǎn)-傾斜樣品臺(tái): 直徑86mm,靶與樣品表面濺射距離:40mm
5.真空度:1 x10-2 mbar-1 atm
6.濺射電流:10、20、30、40 mA可調(diào)
7.沉積速率:0-25nm /min
8.時(shí)間設(shè)定:0 - 300s可調(diào)
9.預(yù)設(shè)氬氣針閥,樣品室沖洗
10.真空泵:旋片真空泵
11.真空測(cè)量:皮拉尼真空計(jì)
12.厚度測(cè)量:可選
13.氬氣純度:99.99%, 壓力設(shè)定:0.5/0.6bar, 6.0mm 真空管輸入
14.電源:230 /50HZ


關(guān)鍵詞:真空泵
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