水汽深冷捕集器是利用低溫表面來凝聚氣體分子以實現(xiàn)抽氣的一種泵，是真空鍍膜設備目前獲得極限真空高，抽速至大的抽氣泵。冷凝泵是依靠制冷機獲取冷量,利用低溫表面冷凝和吸附氣體的物理過程來獲得和保持真空。真空度高(可達10-8Pa)、清潔無油、對各種氣體都具有較大抽速等特點,同時它可以長期可靠運行。因此,在半導體器件的生產過程中,廣泛運用于蒸發(fā)、濺射、離子注入、分子束外延等工藝。
水汽深冷捕集器應用原理：
1.在真空系統(tǒng)中，水蒸氣是影響抽真空裝置抽氣速度的障礙，水汽捕集泵可以快速有效捕捉系統(tǒng)殘余空氣中65%到95%的水蒸氣，減少抽水蒸氣所耗費的時間，效率高達80%。在現(xiàn)有的抽真空系統(tǒng)中加裝KD深冷捕集泵，可以增加產能30%以上；還可以提高鍍膜機的穩(wěn)定性，提高膜層附著力，從而提高鍍膜品質。
2.在真空系統(tǒng)中，水蒸氣是的污染源，因此在要求更高的鍍膜品質中，若能得到更低的蒸氣分壓，可以增強膜層的附著力，提升鍍膜品質，在低溫冷凝泵所抽的氣體往往是混合氣體，如空氣，因而對某一冷表面來說同時存在“可凝性"氣體和“不可凝性氣體"。于是在低溫表面上便發(fā)生一下奇特現(xiàn)象：在可凝性氣體的凝結過程中，能不斷捕獲其他非可凝成分，并降低其壓強，這種作用稱為低溫捕集。
水汽深冷捕集器可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。
