介質(zhì)流量。
■精確控制工藝工具處或附近的氣體壓力,在 300 PSIG 入口處的流速高達(dá) 250 SLPM。
■所有內(nèi)表面都經(jīng)過(guò)10Ra 或5Ra 處理,以確保最小的顆粒產(chǎn)生和殘留。
金屬-金屬隔膜密封增強(qiáng)了防漏完整性。
■組裝、焊接、測(cè)試和最終清潔的每一步都在 100 級(jí)潔凈室中完成。


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