產(chǎn)品特點(diǎn)
■15 至 300 SLPM 的寬流速范圍
■能地兼容大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體
■3 納米顆粒過(guò)濾能力可以以最小的壓降保持高流動(dòng)效率
■5Ra 電拋光表面可防止內(nèi)部污染
■去離子水清洗后用熱氮?dú)夂婵?,以滿(mǎn)足半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)
■100 等級(jí)制造、清潔和包裝環(huán)境
■99% 通過(guò)氦氣泄漏測(cè)試


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