產(chǎn)品概述:
KJ-T1200 CVD是具有80mm直徑氧化鋁管真空泵和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)的管式爐。它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴(kuò)散。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | 帶有3個(gè)MFC氣體通道的 KJ-T1200 CVD | |
顯示 | 發(fā)光二極管 | |
溫度 | 1200℃短時(shí)間 | |
連續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ | |
加熱速率 | 建議:0?10℃/ min | |
溫度區(qū) | 220毫米+220毫米+220毫米 | |
加熱元件 | 鉬電阻絲 | |
熱電偶 | K型 | |
溫度控制精度 | ±1℃ | |
管尺寸 | 80x1200mm(外徑x長) | |
管座 | 包括兩個(gè)纖維狀陶瓷塊,用于阻止管子內(nèi)部的熱輻射(在加熱之前,陶瓷塊必須*插入爐膛中)。 | |
溫度控制 | 通過SCR功率控制進(jìn)行PID自動(dòng)控制 | |
程序和斜坡 | 30步可編程 | |
真空法蘭 | 帶閥的不銹鋼真空法蘭 | |
功率 | 220V,50 Hz,單相6KW | |
質(zhì)量流量計(jì) | 三種精密質(zhì)量流量計(jì): MFC 1:氣體流量范圍為0?100 sccm MFC 2:氣體流量范圍為0?200 sccm MFC 3:氣體流量范圍為0?200 sccm (氣體流量范圍可根據(jù)您的要求) 底殼上裝有一個(gè)氣體混合罐,底殼左側(cè)裝有3個(gè)不銹鋼針閥,以手動(dòng)控制3種氣體的混合 下面的照片是4 MFC供參考。3 MFC將帶有3個(gè)顯示器 |
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