產品簡介
中圖儀器SuperViewW1國產3D白光干涉儀采用了掃描模塊和內部抗振設計，可實現(xiàn)高測量精度重復性和高粗糙度RMS重復性。它以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
SuperViewW1國產3D白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。
產品功能
(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；
(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；
(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
應用領域
對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
應用范例：
部分技術指標
| 型號 | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
| 干涉物鏡 | 標配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
| 光學ZOOM | 標配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1× | |
| 標準視場 | 0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學ZOOM 0.5×） | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移動范圍 | 140×100㎜ | |
| 負載 | 10kg | |
| 控制方式 | 電動 | |
| Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 電動 | |
| 臺階測量 | ||
| 可測樣品反射率 | 0.05%~100 | |
| 主機尺寸 | 700×606×920㎜ | |
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
