一．特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.采用控智能控制系統(tǒng)，可對(duì)接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求，實(shí)現(xiàn)過(guò)程化管理！操作智能方便!
3.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
4.采用2mm厚度SUS304#鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
5.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)高溫H.E.P.A Filter裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))
二．執(zhí)行與滿足標(biāo)準(zhǔn)
1.GB/T11158-1989高溫試驗(yàn)箱技術(shù)條件
2.GB2423.2-1989試驗(yàn)B
三．用途
無(wú)塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。
無(wú)塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
無(wú)塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。
四．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號(hào)：無(wú)塵烘箱 COL-180-HMI
2.主要技術(shù)指標(biāo)：
2.1無(wú)塵等級(jí)：Class 100;
2.2溫度范圍： 60～ +250℃；
2.3溫度均勻度：±1.5%;(空載）
2.4溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動(dòng)形式。
2.7工作尺寸：W600×D500×H600
2.8電源：380v,50Hz，6Kw
3、箱體結(jié)構(gòu)：
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免
烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬
焊密封加工(防污染)。
4、采用智能控制系統(tǒng),匯川/歐姆龍PLC
10〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯：可預(yù)編120個(gè)程式，每個(gè)程式可編99段，共1200段
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過(guò)USB接口導(dǎo)出)
可對(duì)接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求，實(shí)現(xiàn)過(guò)程化管理，操作智能方便!
5、完善的安全保護(hù)措施：漏電斷路器//控制線路保險(xiǎn)絲裝置//超溫防止保護(hù)裝置//電熱過(guò)電流保護(hù)裝//
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.采用控智能控制系統(tǒng)，可對(duì)接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求，實(shí)現(xiàn)過(guò)程化管理！操作智能方便!
3.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
4.采用2mm厚度SUS304#鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
5.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)高溫H.E.P.A Filter裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))
二．執(zhí)行與滿足標(biāo)準(zhǔn)
1.GB/T11158-1989高溫試驗(yàn)箱技術(shù)條件
2.GB2423.2-1989試驗(yàn)B
三．用途
無(wú)塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。
無(wú)塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
無(wú)塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。
四．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號(hào)：無(wú)塵烘箱 COL-180-HMI
2.主要技術(shù)指標(biāo)：
2.1無(wú)塵等級(jí)：Class 100;
2.2溫度范圍： 60～ +250℃；
2.3溫度均勻度：±1.5%;(空載）
2.4溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動(dòng)形式。
2.7工作尺寸：W600×D500×H600
2.8電源：380v,50Hz，6Kw
3、箱體結(jié)構(gòu)：
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免
烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬
焊密封加工(防污染)。
4、采用智能控制系統(tǒng),匯川/歐姆龍PLC
10〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯：可預(yù)編120個(gè)程式，每個(gè)程式可編99段，共1200段
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過(guò)USB接口導(dǎo)出)
可對(duì)接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求，實(shí)現(xiàn)過(guò)程化管理，操作智能方便!
5、完善的安全保護(hù)措施：漏電斷路器//控制線路保險(xiǎn)絲裝置//超溫防止保護(hù)裝置//電熱過(guò)電流保護(hù)裝//
馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)//機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示//逆向防止器//門(mén)面安全開(kāi)關(guān)//急停//OTP
