日立公司于2016年4月15日在發(fā)布了新型掃描電子顯微鏡——FlexSEM 1000。該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小,但分辨率不輸大型電鏡,同時操作極其簡便,幾乎不用培訓(xùn)就可操作。緊湊型設(shè)計,分辨率為4 nm。
掃描電子顯微鏡可對材料的表面進行高倍率觀察及高精度元素分析,在納米技術(shù)、生命科學(xué)、產(chǎn)品設(shè)計研發(fā)及失效分析等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。 近年來,掃描電鏡觀察表面精細結(jié)構(gòu)及元素分析的需求日趨增加,而越來越多的用戶希望能在生產(chǎn)線、品保檢驗線和辦公區(qū)等有限的空間里使用掃描電子顯微鏡。因此,體積小、操作簡便、分辨率高的掃描電子顯微鏡備受關(guān)注。FlexSEM 1000主機寬450mm、長640mm,相比SU1510型號體積減小52%,重量減輕45%,功耗減小50%,且配備標(biāo)準(zhǔn)化的電源接口。主機與供電單元可分離,安裝非常靈活。
FlexSEM 1000采用設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和高可靠性、高靈敏度的探測器,分辨率高達4nm。FlexSEM 1000有多種自動化功能,操作簡便,即便是初次操作者也能快速拍出高質(zhì)量圖像。另外,新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」可使用各種光學(xué)圖片或電鏡照片進行導(dǎo)航,一鍵就快速精準(zhǔn)地切換至感興趣的高倍率視野。
特點:
a. 通過高靈敏度二次電子探測器,背散射探測器,低真空探測器(UVD*2),實現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
b. 操作簡捷,即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
c. 新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」,便于快速鎖定視野
d. 大窗口(30 mm2)SDD能譜系統(tǒng),便于快速分析元素成分*2
*1 設(shè)置在桌面時,分離主機和電源箱
*2 選配
項目 | 內(nèi)容 | |
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分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式) 15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式) 5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式) | |
加速電壓 | 0.3 kV ~ 20 kV | |
放大倍率 | 6× ~ 300,000× (底片倍率) 16× ~ 800,000× (顯示倍率) | |
低真空模式 | 真空范圍:6 ~ 100 Pa | |
電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 | |
樣品臺 | 3-軸自動馬達臺 X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm R:360°, T:-15° ~ +90° | |
樣品尺寸 | 直徑80 mm | |
樣品高度 | 40 mm | |
尺寸 | 主機:450(W) x 640(D) x 670(H) mm 供電單元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm | |
探測器選配 |