應(yīng)特格ENTEGRIS氣體過濾器WDFA80PTF
應(yīng)特格ENTEGRIS氣體過濾器WDFA80PTF
應(yīng)特格ENTEGRIS微型在線氣體過濾器，WG3NSMSL2自營現(xiàn)貨4個(gè)
Wafergard
III NF 微型在線氣體過濾器
為超純氣體系統(tǒng)提供的惰性和反應(yīng)性氣體顆粒過濾。
可用的最清潔、的全金屬過濾器
獲得的鎳過濾膜具有的耐腐蝕性和與惰性氣體和反應(yīng)性氣體的出色兼容性*
的外殼組件通過最小化焊接面積來消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇可提高設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低工程成本
*不建議與 CO、O 3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用。
應(yīng)用
Wafergard III NF 微型在線氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
動(dòng)壓應(yīng)用
惰性和反應(yīng)性氣體
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 獲得的燒結(jié)鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子* 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
易揮發(fā)的** H 2 O、O 2和 THC 的揮發(fā)性釋氣低于可檢測(cè)限（在室溫下通過 RGA 和 FID）
移除等級(jí) ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 ≤5 μin Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2x10 -10 atm cc/秒。
經(jīng)過測(cè)試 1x10 -9 atm cc/秒。
運(yùn)行條件 最大允許工作壓力（設(shè)計(jì)壓力）：207 bar (3000 psi) @ 100°C (212°F)
最大正向/反向壓差：35 bar (500 psid)
最高工作溫度：惰性氣體 400°C (752°F) @ 35 bar (500 psi)；腐蝕性和反應(yīng)性氣體：50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
保修單 5年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考穿透性的顆粒尺寸）
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
*顆粒清潔度符合 SEMASPEC 顆粒粉碎測(cè)試方法 (#93021511A-STD)
**揮發(fā)性清潔度符合 SEMASPEC THC 貢獻(xiàn)測(cè)試方法 (#90120396B-STD)、水分貢獻(xiàn) (#90120397B-STD) 和氧氣貢獻(xiàn) (# 90120398B-STD）。
零件號(hào)
Wafergard III NF 微型在線氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長度
WG3L005NS2S1 1/8" Swagelok 壓縮接頭 50.8 毫米（2.00 英寸）
WG3NS5RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）
WG3NSMFF2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）內(nèi)螺紋入口/出口 58.4 毫米（2.30 英寸）
WG3NSMFR2 1/4" 極化墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）內(nèi)螺紋入口/外螺紋出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NSMJJ2 1/4" 對(duì)接焊入口/出口 28.4 毫米（1.12 英寸）
WG3NSMRF2 1/4" 極化墊片密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內(nèi)螺紋出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NSMSL2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 50.8 毫米（2.00 英寸）
III NF 微型在線氣體過濾器為超純氣體系統(tǒng)提供的惰性和反應(yīng)性氣體顆粒過濾。
可用的最清潔、的全金屬過濾器
獲得的鎳過濾膜具有的耐腐蝕性和與惰性氣體和反應(yīng)性氣體的出色兼容性*
的外殼組件通過最小化焊接面積來消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇可提高設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低工程成本
*不建議與 CO、O 3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用。
應(yīng)用
Wafergard
III NF 微型在線氣體過濾器應(yīng)用超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
動(dòng)壓應(yīng)用
惰性和反應(yīng)性氣體
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 獲得的燒結(jié)鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子* 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
易揮發(fā)的** H 2 O、O 2和 THC 的揮發(fā)性釋氣低于可檢測(cè)限（在室溫下通過 RGA 和 FID）
移除等級(jí) ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 ≤5 μin Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2x10 -10 atm cc/秒。
經(jīng)過測(cè)試 1x10 -9 atm cc/秒。
運(yùn)行條件 最大允許工作壓力（設(shè)計(jì)壓力）：207 bar (3000 psi) @ 100°C (212°F)
最大正向/反向壓差：35 bar (500 psid)
最高工作溫度：惰性氣體 400°C (752°F) @ 35 bar (500 psi)；腐蝕性和反應(yīng)性氣體：50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
保修單 5年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考穿透性的顆粒尺寸）
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
*顆粒清潔度符合 SEMASPEC 顆粒粉碎測(cè)試方法 (#93021511A-STD)
**揮發(fā)性清潔度符合 SEMASPEC THC 貢獻(xiàn)測(cè)試方法 (#90120396B-STD)、水分貢獻(xiàn) (#90120397B-STD) 和氧氣貢獻(xiàn) (# 90120398B-STD）。
零件號(hào)
Wafergard
III NF 微型在線氣體過濾器部件號(hào)零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長度
WG3L005NS2S1 1/8" Swagelok
壓縮接頭 50.8 毫米（2.00 英寸）WG3NS5RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）
WG3NSMFF2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）內(nèi)螺紋入口/出口 58.4 毫米（2.30 英寸）
WG3NSMFR2 1/4" 極化墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）內(nèi)螺紋入口/外螺紋出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NSMJJ2 1/4" 對(duì)接焊入口/出口 28.4 毫米（1.12 英寸）
WG3NSMRF2 1/4" 極化墊片密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內(nèi)螺紋出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NSMSL2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 50.8 毫米（2.00 英寸）
