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白光干涉儀光學(xué)輪廓儀

參考價 960000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號SuperViewW
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2023/4/10 11:07:20
  • 訪問次數(shù)376
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食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)采購部電話:13777369734

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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。


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中圖儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),擁有一支集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團(tuán)隊,歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐,研發(fā)出了基礎(chǔ)計量儀器、常規(guī)尺寸光學(xué)測量儀器、微觀尺寸光學(xué)測量儀器、大尺寸光學(xué)測量儀器、常規(guī)尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業(yè)應(yīng)用檢測設(shè)備等全尺寸鏈精密儀器及設(shè)備,能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。


中圖儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點遍及全國三十多個省、市、自治區(qū),產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐、美、東南亞等海外市場,堅持為客戶提供高質(zhì)量的產(chǎn)品和服務(wù)。


中圖儀器還將繼續(xù)專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展,自強(qiáng)不息、知難而上、勇于創(chuàng)新,為中國制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻(xiàn)力量!

一鍵式測量儀,影像測量儀,輪廓測量儀,激光干涉儀,激光跟蹤儀,機(jī)床側(cè)頭,圖像尺寸測量儀,白光干涉儀
SuperViewW1白光干涉儀光學(xué)輪廓儀用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量??梢詼y量可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT
白光干涉儀光學(xué)輪廓儀 產(chǎn)品信息

SuperViewW1白光干涉儀光學(xué)輪廓儀用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量??梢詼y量可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。也叫光學(xué)3D表面輪廓測量儀。


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產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


結(jié)果組成:

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。


超精密加工.jpg

超精密加工

大尺寸樣品_拼接測量.jpg

大尺寸樣品拼接測量


針對芯片封裝測試流程的測量需求,SuperViewW1白光干涉儀光學(xué)輪廓儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍,可覆蓋8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計,隔離地面震動與噪聲干擾。


白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下,測量精度和重復(fù)性高于共聚焦顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域,除了白光干涉儀,其它儀器達(dá)不到檢測的精度要求。




關(guān)鍵詞:顯微鏡
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