KJ-CVD 是一種分體式管式爐，配備 60mm 直徑的石英管、真空泵和四通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)。 可混合1-6種氣體進行CVD。
應(yīng)用范圍：
此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 1600 CVD 系統(tǒng) | |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1600 CVD | |
| 部分：標(biāo)準(zhǔn)部分 | ||
| 管式爐 | 顯示 | LED |
| 爐體 | 分體式和上部可以打開 | |
| 溫度 | 1600℃ | |
| 工作溫度 | ≤1500℃ | |
| 升溫速率 | 0~10℃/min | |
| 溫區(qū) | 300mm | |
| 加熱元件 | MoSi2加熱元件 | |
| 熱電偶 | B 型 | |
| 溫度控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管 | 80 x 1000mm (OD x minimum L) | |
| 材質(zhì)：高純氧化鋁管 | ||
| 溫度控制 | 通過可控硅功率控制進行PID自動控制 | |
| 加熱曲線 | 30 步可編程 | |
| 真空法蘭 | 帶閥門的不銹鋼真空法蘭 | |
| 電壓與功率 | 220V, 50 Hz, 單相 4KW | |
| 真空泵系統(tǒng) | 旋片真空泵+擴散真空泵 | 真空泵組：極限真空10-6 Torr。 旋片真空泵和擴散真空泵將設(shè)計成推車帶輪子。 |
| 質(zhì)量流量計 | 四個精密質(zhì)量流量計： 底殼安裝1個氣體混合罐，底殼左側(cè)安裝6個不銹鋼針閥，手動控制6種氣體混合 | |
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運行。
3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。
