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VTC-2RF 300W射頻等離子磁控濺射鍍膜儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/1/12 9:33:34
  • 訪問(wèn)次數(shù)374
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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門(mén)的國(guó)家技術(shù)企業(yè),長(zhǎng)期致力于打造安全、高效、智能的實(shí)驗(yàn)研發(fā)一站式服務(wù)平臺(tái),為科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。 深圳科晶與美國(guó)MTI、合肥科晶、沈陽(yáng)科晶同屬M(fèi)TI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),精心為科學(xué)家們的實(shí)驗(yàn)室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件提供潔凈存儲(chǔ)和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開(kāi)始進(jìn)行材料相關(guān)研發(fā)設(shè)備和鋰電池實(shí)驗(yàn)設(shè)備的開(kāi)發(fā),經(jīng)過(guò)十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎(chǔ)研究、小試與中試、測(cè)試與評(píng)估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應(yīng)用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級(jí)電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池、功能薄膜等方向。 主要產(chǎn)品系列:按應(yīng)用與工藝更新產(chǎn)品系列 ? 材料基礎(chǔ)研究實(shí)驗(yàn)裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結(jié)、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等); ? 電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級(jí)電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽(yáng)能電池等制備方案); ? 電池安全測(cè)試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)等); ? 鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案); ? 燃料電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案); ? 鈣鈦礦太陽(yáng)能電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備; ? 功能薄膜研發(fā)實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括混料、涂布、輥壓/復(fù)合、分切、復(fù)卷等); ? 高通量材料基因組實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結(jié)、測(cè)試表征等); 公司設(shè)立了開(kāi)放的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和設(shè)備體驗(yàn)中心。對(duì)于鋰電池行業(yè),可實(shí)現(xiàn)公斤級(jí)別材料制備及電池研發(fā),能接受上門(mén)小批量材料驗(yàn)證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。 深圳科晶強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對(duì)現(xiàn)有產(chǎn)品具有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的發(fā)明和實(shí)用新型共40多項(xiàng)(包含PCT和國(guó)內(nèi)發(fā)明),并參與行業(yè)多項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)制定且獲得多個(gè)行業(yè)協(xié)會(huì)認(rèn)可。 本著“精誠(chéng)合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學(xué)、南開(kāi)大學(xué)、上海交通大學(xué)、深圳大學(xué)、中航發(fā)航材院、溧陽(yáng)天目湖研究院等十多個(gè)高校機(jī)構(gòu)和企業(yè)簽署產(chǎn)學(xué)研合作。與此同時(shí),深圳科晶設(shè)立了對(duì)外服務(wù)的公共試驗(yàn)平臺(tái),承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試體驗(yàn),配備行業(yè)的售前技術(shù)人員協(xié)助研究者充分了解相關(guān)工藝和設(shè)備,縮短調(diào)研考察與決策時(shí)間。該實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)也可以承接相關(guān)工藝試驗(yàn)服務(wù)和培訓(xùn)咨詢服務(wù),協(xié)助細(xì)分領(lǐng)域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專(zhuān)注前沿研發(fā)。 材料科學(xué)是基礎(chǔ)科學(xué)??v觀人類(lèi)科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應(yīng)用將帶來(lái)巨大的產(chǎn)業(yè)機(jī)遇,而*的實(shí)驗(yàn)裝備和儀器是為科研和應(yīng)用保駕護(hù)航的重要保障。科晶團(tuán)隊(duì)將一如既往秉承“客戶為本,技術(shù)為導(dǎo),誠(chéng)信為基,積極創(chuàng)新”的運(yùn)營(yíng)理念 ,竭力為科學(xué)研究和科技發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
封口設(shè)備
簡(jiǎn)要描述:VTC-2RF是一款小型的射頻(RF)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng),系統(tǒng)中包含了所有所需的配件,如300W(13.5MHz)的RF電源、2“的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對(duì)于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜,它是一款物美價(jià)廉的實(shí)驗(yàn)幫手。
VTC-2RF 300W射頻等離子磁控濺射鍍膜儀 產(chǎn)品信息

技術(shù)參數(shù)

輸入電源

  • 220VAC 50/60Hz, 單相
  • 800W (包括真空泵)

等離子源

一個(gè)300W,13.5MHz的射頻電源安裝在移動(dòng)柜內(nèi)

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磁控濺射頭

  • 一個(gè) 2英寸磁控濺射頭(帶有水冷夾層),采用快速接頭與真空腔體相連接
  • 靶材尺寸: 直徑為50mm,大厚度6.35mm
  • 一個(gè)快速擋板安裝在法蘭上(手動(dòng)操作,見(jiàn)圖左3)
  • 濺射頭所需冷卻水:流速10L/min(儀器中配有一臺(tái)流速為16L/min的循環(huán)水冷機(jī))
  • 同時(shí)可選配1英寸濺射頭

真空腔體

  • 真空腔體:160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H,采用高純石英制作
  • 密封法蘭:直徑為165 mm . 采用金屬鋁制作,采用硅膠密封圈密封
  • 一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體,以屏蔽等離子體
  • 真空度:10-3 Torr (采用雙極旋片真空泵)
  • 10-5 torr (采渦旋分子泵)

載樣臺(tái)

  • 載樣臺(tái)可旋轉(zhuǎn)(為了制膜更加均勻)并可加熱
  • 載樣臺(tái)尺寸:直徑50mm (大可放置2英寸的基片)
  • 旋轉(zhuǎn)速度:1 - 20 rpm
  • 樣品的MAX加熱溫度為700℃,(短期使用,恒溫不超過(guò)1小時(shí)),長(zhǎng)期使用溫度500℃
  • 控溫精度+/- 10℃

真空泵

我公司有多種真空泵可選,請(qǐng)點(diǎn)擊圖片,或是致電我公司銷(xiāo)售

薄膜測(cè)厚儀

  • 一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝在儀器上,可實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜的厚度,分辨率為0.10 Å
  • LED顯示屏顯示,同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)

外形尺寸

質(zhì)保和質(zhì)量認(rèn)證

  • 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)
  • CE認(rèn)證

使用注意事項(xiàng)

  • 這款2英寸的射頻濺射鍍膜儀主要是用于在單晶基片上制備氧化物膜,所以并不需要太高的真空度
  • 為了較好地排出真空腔體中的氧氣,建議用5%H2+95 %N2對(duì)真空腔體清洗2-3次,可有效減少真空腔體中的氧含量
  • 請(qǐng)用純度大于5N的Ar來(lái)進(jìn)行等離子濺射,甚至5N的Ar中也含有10- 100 ppm的氧和水,所以建議將鋼瓶中的惰性氣體通過(guò)凈化系統(tǒng)過(guò)后,再導(dǎo)入到真空腔體內(nèi)


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