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GSL-1700X-EV4 程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市科晶智達科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/1/12 9:28:28
  • 訪問次數(shù)304
產(chǎn)品標簽:

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食品機械設(shè)備網(wǎng)采購部電話:13777369734

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深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術(shù)企業(yè),長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發(fā)一站式服務平臺,為科學研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。 深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務網(wǎng)絡(luò),精心為科學家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導體、精密光學器件提供潔凈存儲和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開始進行材料相關(guān)研發(fā)設(shè)備和鋰電池實驗設(shè)備的開發(fā),經(jīng)過十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎(chǔ)研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。 主要產(chǎn)品系列:按應用與工藝更新產(chǎn)品系列 ? 材料基礎(chǔ)研究實驗裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結(jié)、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等); ? 電池研發(fā)實驗制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案); ? 電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內(nèi)標準等); ? 鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案); ? 燃料電池研發(fā)實驗制備裝備(包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案); ? 鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)實驗制備; ? 功能薄膜研發(fā)實驗設(shè)備(包括混料、涂布、輥壓/復合、分切、復卷等); ? 高通量材料基因組實驗設(shè)備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結(jié)、測試表征等); 公司設(shè)立了開放的研發(fā)實驗室和設(shè)備體驗中心。對于鋰電池行業(yè),可實現(xiàn)公斤級別材料制備及電池研發(fā),能接受上門小批量材料驗證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。 深圳科晶強大的研發(fā)團隊支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對現(xiàn)有產(chǎn)品具有知識產(chǎn)權(quán)的發(fā)明和實用新型共40多項(包含PCT和國內(nèi)發(fā)明),并參與行業(yè)多項標準制定且獲得多個行業(yè)協(xié)會認可。 本著“精誠合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學、南開大學、上海交通大學、深圳大學、中航發(fā)航材院、溧陽天目湖研究院等十多個高校機構(gòu)和企業(yè)簽署產(chǎn)學研合作。與此同時,深圳科晶設(shè)立了對外服務的公共試驗平臺,承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場測試體驗,配備行業(yè)的售前技術(shù)人員協(xié)助研究者充分了解相關(guān)工藝和設(shè)備,縮短調(diào)研考察與決策時間。該實驗室平臺也可以承接相關(guān)工藝試驗服務和培訓咨詢服務,協(xié)助細分領(lǐng)域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專注前沿研發(fā)。 材料科學是基礎(chǔ)科學??v觀人類科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應用將帶來巨大的產(chǎn)業(yè)機遇,而*的實驗裝備和儀器是為科研和應用保駕護航的重要保障??凭F隊將一如既往秉承“客戶為本,技術(shù)為導,誠信為基,積極創(chuàng)新”的運營理念 ,竭力為科學研究和科技發(fā)展做出貢獻。
封口設(shè)備
簡要描述:GSL-1700X-EV4是一款小型溫控型蒸發(fā)鍍膜儀,內(nèi)部設(shè)有4個蒸發(fā)坩堝,且每個蒸發(fā)坩堝都帶有擋板,多可放置4種不同的蒸發(fā)物料,可在同一氣氛下依次鍍膜,實現(xiàn)多層膜的沉積工藝??沙绦蚩販?,控溫范圍200-1500℃(選用B型熱電偶:1200℃-1700℃),大可蒸鍍直徑2英寸薄膜樣品,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
GSL-1700X-EV4 程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀 產(chǎn)品信息

技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

● 石英真空腔體:280mm OD×260mm ID×310mm H,易清洗和放入樣品

● 安裝有一個2英寸的樣品臺,并且樣品臺可以旋轉(zhuǎn),使所制薄膜達到更好的均勻性

● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源,max溫度可達到1700℃,并且配用氧化鋁舟,可裝入樣品(僅

1600℃以下使用,若蒸發(fā)溫度大于1600℃,樣品應直接放在鎢絲籃中)

● 精確控溫:可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃

● 真空度:10-5Torr(如采用分子泵系統(tǒng))

● 進氣系統(tǒng)可實現(xiàn)腔體的清洗和反應蒸發(fā)鍍膜

工作電源

● 電壓:AC220V,50/60Hz,單相

● 功率:1200W,大電流為30A

溫控及加熱源

● 4蒸發(fā)坩堝,每個容積為3mL。四坩堝可依次進行蒸發(fā),實現(xiàn)多層膜沉積工藝(不能同時蒸發(fā))

● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源,并且配有的氧化鋁坩堝,熱電偶安裝在坩堝底部,以便于溫度測量

和控制(如圖1)

● 標準采用S型熱偶:工作溫度為200℃-1500℃(圖2)

● 可選B型熱電偶:工作溫度為1200℃-1700℃

● 安裝有一個數(shù)顯的溫度控制器:可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1ºC(如圖3)

● 也可將儀器轉(zhuǎn)換到手動調(diào)節(jié)接狀態(tài),內(nèi)部不安裝熱電偶,直接采用手動調(diào)節(jié)輸出電流大小,發(fā)熱源

溫度可高達2000℃,可實現(xiàn)對樣品鍍碳等實驗(圖4)

● 儀器中配備4個蒸發(fā)坩堝,每個坩堝均配有2個鎢絲藍加熱元件

圖1 圖2 圖3 圖4 圖5

樣品臺

● 儀器頂部安裝有樣品臺,直徑為Φ50mm

● 樣品臺可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速為:5rpm

● 樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)范圍為:40mm-85mm

樣品厚度監(jiān)測(可選)

● 腔室內(nèi)可安裝精密的薄膜測厚儀,可點擊圖1&圖2查看詳情。測厚精度可達0.10 Å。測厚儀LED

顯示可實現(xiàn):

● 根據(jù)數(shù)據(jù)庫,輸入涂層信息

● 顯示鍍膜總厚度以及鍍膜速度

● 可選購反射光譜薄膜測厚儀--TFMS-LD,用于薄膜厚度的檢測,點擊圖3查看詳情

真空系統(tǒng)(選配)

● 設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵

● MAX真空度可達4.0E-6 Torr(采用渦旋分子泵)

● 雙極旋片真空泵或干泵,可使儀器真空腔體的真空度達到10-2Torr

● 真空度達到10-2torr時,可蒸發(fā)一些貴金屬,如金和鉑,也可蒸發(fā)一些有機材料,可選購數(shù)顯

防腐真空計PCG-554(測量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.)

● 高真空度可達4.0E-6 Torr(采用渦旋分子泵),此時可蒸發(fā)對氧敏感的材料,如Al. Mg, Li,

分子泵上帶有復合真空計(MAX可測量真空度為1.0E-7Torr)

● 可在本公司選購各種真空泵和真空計

進氣口

● 進氣接口為1/4NPS,可向真空腔體中通入惰性氣體,對腔體進行清洗,也可通入反應氣體,

進行反應蒸發(fā)鍍膜

● 進氣口安裝有一針閥,用于調(diào)節(jié)進氣流量

耗材

● 注:氧化鋁坩堝以及鎢絲藍為耗材,可與本公司銷售聯(lián)系購買

產(chǎn)品尺寸

● 總體尺寸:550mm L×550mm W×750mm H

● 石英腔體尺寸:280mm OD×260mm ID×310mm H

質(zhì)量認證

CE認證

質(zhì)保期

一年保質(zhì)期,終生維護

產(chǎn)品質(zhì)量

80kg

應用注意事項

● 為了獲得高真空度,可采用以下做法

(1)使用前要檢查密封圈和法蘭上是否有異物或劃痕,并用酒精擦洗

(2)抽真空時,用外部加熱裝置將腔體烘烤到200℃,氧化鋁坩堝預加熱到500℃,保持2小時

● 使用溫度高于1300℃時,保溫時間不可大于1小時,否則會損壞密封圈

● 當腔體的各閥門關(guān)閉時,請勿開啟升溫程序或手動調(diào)節(jié)電流進行加熱

● 當儀器正在蒸發(fā)材料時,不可打開泄氣閥或關(guān)閉真空泵,只有當加熱溫度降至100℃時,才可放氣

或關(guān)閉真空泵



關(guān)鍵詞:測厚儀 真空泵
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