功能特點 |
---|
- 設(shè)有真空表、濺射電流表,可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。
- 通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得the best 鍍膜效果。
- 鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計,可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
- 陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
- 根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。
- 濺射頭采用Peltier制冷技術(shù),可得到高性能、精細顆粒的涂層。
- 可用水冷濺射頭、水冷載物臺。
技術(shù)參數(shù) | |||
---|---|---|---|
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
水 | 設(shè)備需選配自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) | ||
電 | AC220V 50Hz,必須有良好接地 | ||
氣 | 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) | ||
工作臺 | 尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 | ||
通風(fēng)裝置 | 不需要 | ||
靶 | Ø50mm | ||
真空室 | Ø160mm×120mm | ||
MAX真空度 | ≤4×10-2mbar | ||
大電流 | 50mA(100mA) | ||
可設(shè)定長時間 | 9999s | ||
微型真空氣閥 | 連接Ø3mm軟管 | ||
MAX電壓 | 1600V DC | ||
機械泵 | 2L/s | ||
尺寸 | 360mm×300mm×380mm | ||
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 金靶材 | 1個 |
2 | 進氣針閥 | 1個 | |
3 | 保險絲 | 2個 |