OTF-1200X-RTP-II-5-R是一款5英寸近距離旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)鍍膜爐，其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設(shè)備專門設(shè)計(jì)針對(duì)于熱蒸發(fā)或CSS（Close Spaced Sublimation）鍍膜實(shí)驗(yàn)，其鍍膜面積可達(dá)到5"x5"，并且頂部載樣臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，提高鍍膜均勻性。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管（分別位于頂部和底部），大升溫速率為10ºC/s 。對(duì)于探索新一代的薄膜太陽能電池，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦結(jié)構(gòu)太陽能電池,這是一款理想的實(shí)驗(yàn)工具。
| 功能特點(diǎn) |
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- 由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部，兩溫度控制器進(jìn)行獨(dú)立控溫
- 大升溫速率為10℃/s
- 大溫度可達(dá)800℃
- 兩樣品臺(tái)距離以及旋轉(zhuǎn)均可通過觸摸屏控制
- 頂部載樣臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)：1-7rpm
| 技術(shù)參數(shù) | |
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| 工作電壓 | AC 220V, 50/60Hz （需要50A的空氣開關(guān)） |
| 真空法蘭 | 真空法蘭為316不銹鋼制作 頂部法蘭（可通過控制盒進(jìn)行上升和下降）： • 一機(jī)械壓力表 • 一KF16接口，可以安裝防腐真空計(jì) • 兩個(gè)不銹鋼精密針閥用于氣體的進(jìn)出 • 底部法蘭： • 一KF25接口，可以與真空泵相連接 • 法蘭是通過兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封： • 真空度：20Pa（機(jī)械泵） • 真空度：10-1 Pa（分子泵） |
| 加熱元件和載樣臺(tái) | 由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部 兩個(gè)加熱臺(tái)之間的距離可以通過直流電機(jī)調(diào)節(jié)（觸摸屏控制），調(diào)節(jié)范圍為：2-50mm 頂部載樣臺(tái)可旋轉(zhuǎn)（觸摸屏控制），轉(zhuǎn)速：1-7rpm 為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中，（不 銹鋼殼體采用316不銹鋼制作） 采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺(tái)，以達(dá)到較好的加熱均勻性 注：可選購5"x5"的石墨坩堝放于底部載樣臺(tái)用來盛放蒸發(fā)原料，提高溫度均勻性
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| 溫控系統(tǒng) | 兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個(gè)加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序 每個(gè)溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù) PC通訊接口，軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中 |
| 工作溫度 | MAX工作溫度為：800℃ 兩個(gè)加熱區(qū)之間的大溫差為300℃ |
| 加熱和冷卻速率 | 建議加熱速率≤ 10ºC/s（每個(gè)溫區(qū)單獨(dú)加熱） 冷卻速率> 10ºC/s (800 - 300ºC) |
| 熱電偶 | 兩個(gè)K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸 |
| 可選 | 此款儀器使用時(shí)需要配用一循環(huán)水冷機(jī)（58L/min) 實(shí)驗(yàn)時(shí)需要一個(gè)真空泵，可與本公司選購真空泵 若要使真空腔體內(nèi)達(dá)到更潔凈的工作環(huán)境，可換購無油泵 可選購質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng)，將實(shí)驗(yàn)所需氣體安比列混好后導(dǎo)入到真空腔體中
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| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包括密封圈、加熱元件和石英管） |
| 產(chǎn)品尺寸 | 790mm × 600mm × 1100mm |
| 使用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司 選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品 加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防 意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
