| 功能特點(diǎn) |
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- 采用桌面小型一體化結(jié)構(gòu)，將真空腔體、鍍膜電源及控制系統(tǒng)進(jìn)行整合設(shè)計(jì)，體積與一臺(tái)A3打印機(jī)相仿。
- 采用電阻式雙蒸發(fā)源結(jié)構(gòu)，可快速實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的轉(zhuǎn)換。蒸發(fā)單元中裝有兩組蒸發(fā)電極可安裝不同的蒸發(fā)源，適應(yīng)相應(yīng)的鍍膜材料。
- 配有0.1%精度蒸發(fā)電源，并具有恒流輸出功能，對(duì)蒸發(fā)舟能起到很好的保護(hù)作用。
- 可選配石英晶體膜厚控制儀，在鍍膜過程中對(duì)鍍膜速率和膜層厚度進(jìn)行控制。
- 可將采集到的鍍膜數(shù)據(jù)保存到U盤，便于用戶分析控制（選配）。
- 本機(jī)將所有功能設(shè)計(jì)成標(biāo)準(zhǔn)化模塊，根據(jù)用戶不同的需求對(duì)相應(yīng)模塊進(jìn)行組合，以達(dá)到the BEST 的鍍膜環(huán)境，并便于用戶維修與維護(hù)。
- 操作控制采用7英寸TFT顯示屏顯示操作界面，觸屏操作，實(shí)現(xiàn)全圖形化界面，易用易懂。
| 技術(shù)參數(shù) | |||
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| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
| 水 | 設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） | ||
| 電 | AC220V 50Hz，必須有良好接地 | ||
| 氣 | 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）及減壓閥 | ||
| 工作臺(tái) | 落地式，占地面積2m2以上 | ||
| 通風(fēng)裝置 | 需要 | ||
| 電源 | AC220V 1500W | ||
| 蒸發(fā)電源功率 | 1000W 5V 200A | ||
| 蒸發(fā)電極有效距離 | 44mm | ||
| 樣品臺(tái) | Ø120mm（可旋轉(zhuǎn)） | ||
| 膜厚測(cè)量精度 | 0.1Å或0.01Å（可選配高精度型） | ||
| 外接真空機(jī)組 | 擴(kuò)散泵機(jī)組（可選配國(guó)產(chǎn)110機(jī)組或進(jìn)口機(jī)組）（不建議使用擴(kuò)散泵） | ||
| 極限真空度 | >3.0×10-3torr（擴(kuò)散泵）、3.0×10-4torr（分子泵）（不建議使用擴(kuò)散泵） | ||
| 工作真空度 | 5.0×10-3torr | ||
| 真空接口 | KF40 | ||
| 使用環(huán)境 | 溫度35℃，濕度<75%（相對(duì)濕度）不結(jié)露，海拔<1500m | ||
| 尺寸 | 440mm×240mm×260mm（不包括真空機(jī)組） | ||
| 重量 | 約47kg（不包括真空泵） | ||
