VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。
功能特點(diǎn) |
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- 真空吸附方式固定樣件,操作簡(jiǎn)便。
- 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。
- 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡(jiǎn)單。
- 設(shè)有12組程序,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。
- 電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的*性和均勻性。
- 真空度大可以達(dá)到-0.08MPa。
技術(shù)參數(shù) | |||
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安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
水 | 設(shè)備配有進(jìn)出水口 | ||
電 | AC220V 50Hz,必須有良好接地 | ||
氣 | 不需要 | ||
工作臺(tái) | 尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 | ||
通風(fēng)裝置 | 需要 | ||
電機(jī)功率 | 350W | ||
速度范圍 | 500rpm-10000rpm | ||
程序運(yùn)行 | 可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段 | ||
增減速率設(shè)置范圍 | 100rpm/s-2000rpm/s | ||
時(shí)間范圍 | 0-60s | ||
吸盤 | Ø19mm、Ø60mm | ||
本機(jī)可選配加熱功能 | ● 加溫范圍RT-150℃; ● 加熱蓋,水槽及吸盤采用耐高溫材質(zhì)聚四氟; ● 溫度單獨(dú)控制,與主機(jī)程序控制無關(guān)聯(lián); | ||
尺寸 | 450mm×280mm×340mm | ||
重量 | 20kg | ||
可選配件 | 過濾器(真空泵用) | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 真空吸盤(含O型圈) | 2個(gè) |
2 | 中心定位器(含4個(gè)定位柱) | 1個(gè) | |
3 | 滴膠注射器(20ml) | 1個(gè) | |
4 | 注射器支架 | 1個(gè) | |
5 | 無油真空泵 | 1臺(tái) | |
6 | 橡膠管(含卡箍) | 1根 |