規(guī)格
| CV-2100M4 | CV-2100N4 | |||
測(cè)量范圍 | X軸 | 100mm | |||
Z1軸(檢出器) | 50mm | ||||
上下移動(dòng)量(Z軸立柱) | 350mm | —— | |||
X軸傾角范圍 | ±45° | ||||
分辨力 | X軸 | 0.1μm | |||
Z1軸 | 0.1μm | ||||
驅(qū)動(dòng)方式 | X軸 | 電動(dòng)(0-20mm/s) | |||
上下移動(dòng) (Z軸立柱) | 手動(dòng)(快速上下動(dòng),微動(dòng)) | —— | |||
測(cè)量速度 | 0.02-5mm/s | ||||
直線精度(X軸水平位置時(shí)) | 2.5μm/100mm | ||||
指示精度(20℃) | X軸 | ±(2.5+0.02L)μm,L:測(cè)量長(zhǎng)度(mm) | |||
Z1軸 | ±(2.5+(0.1H))μmH=水平位置上的測(cè)量高度±25mm以內(nèi) | ||||
測(cè)量方向 | 向前/向后 | ||||
測(cè)量面方向 | 向下 | ||||
測(cè)力 | 30±10mN(3gf) | ||||
測(cè)針跟蹤角度(以標(biāo)準(zhǔn)配件測(cè)針為例) | 向上77°,向下87°(根據(jù)表面粗糙度而定) | ||||
尺寸(幅度*深度*高度) | 745*450*885mm | 651*143*138.5mm | |||
重量 | 145.8kg | 5.8kg |