專用等離子設(shè)備 Tetra-2-PC,卷到卷
技術(shù)參數(shù):
外殼:
寬 3491 mm、高 1000 mm、深 1278 mm
腔室:
長(zhǎng) 1050 mm、∅ 90 mm
腔室容積:
約 2 升
氣源:
2 個(gè)由 MFCs 控制的氣體通道
發(fā)生器:
2 件(分別為 40 kHz)
(可選: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)
控制系統(tǒng):
配有工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)
自動(dòng)化:
卷到卷