工作原理:
將該二聚體進(jìn)行高溫裂解產(chǎn)生雙自由基,再導(dǎo)入成膜室在成膜物體表面冷凝并迅速聚合,得到均勻致密的聚對(duì)二甲苯薄膜。
聚對(duì)二甲苯薄膜涂層特點(diǎn):
聚對(duì)二甲苯薄膜無色透明,膜厚0.1μm 時(shí)仍無針孔。它的化學(xué)性能穩(wěn)定 ,有優(yōu)良的機(jī)\電\熱和生物相容性,對(duì)氣體有良好的阻擋作用,還能提高被抱覆物的耐摸性,同時(shí)是一種能防潮\防霉\防酸堿\耐輻照的高品質(zhì)防護(hù)涂層。聚對(duì)二甲苯薄膜涂層的優(yōu)良特性,使其在許多高科技領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景 。
Parylene涂層在電子領(lǐng)域應(yīng)用極其廣泛,主要用于:
電路板,半導(dǎo)體器件,集成電路,混合微電路, 混合微電路,電容器,微型電機(jī)和鐵氧體;
在光學(xué)和光電領(lǐng)域主要用于光學(xué)光電器件,復(fù)印技術(shù)光電感光體,激光存儲(chǔ)和記錄器件;
在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域用于人工假體,埋入式器件,血液分析器等;
在航空航天領(lǐng)域主要用在航空航天器上,用于絕緣保護(hù)。
Diener P6聚對(duì)二甲苯薄膜涂層系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):
parylene N, C, D, F-VT4
涂層厚度: 0.05 ~ 20 um
外形尺寸:W700*D500*700mm:
裂解管功率及溫度:
1.6 kW / max. 750 °C
樣品艙:
直徑:200mm 高度:200mm
樣品臺(tái):
直徑:170mm 高度:170mm
液氮/冷阱冷卻
真空泵:
雙極油泵
排氣速度:16m3/h
極限真空度:1*10-3mbar
控制:
Windows Full PC
230 V/16 A/50-60 Hz
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