超純水系統(tǒng)是指系統(tǒng)從原水至超純水完整產(chǎn)生的生產(chǎn)系統(tǒng)。 一般超純水系統(tǒng)是經(jīng)由多重過濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，納米率，離子吸附過濾所產(chǎn)生的超純水。
1: 預(yù)處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點
2: 預(yù)處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
3: 預(yù)處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
4: 預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
水質(zhì)符合美國ASTM標準，電子部超純水水質(zhì)標準(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
超純水系統(tǒng)反滲透(膜分離)法超純水制造技術(shù)
反滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水)通過反滲透膜(一種半透膜)而分離出來，方向與滲透方向相反，可使用大于滲透壓的反滲透法進行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。
①不需加熱、沒有相變;
②能耗少;過程連續(xù)穩(wěn)定;
③設(shè)備體積小、操作簡單，適應(yīng)性強;
④對環(huán)境不產(chǎn)生污染。
反滲透超純水系統(tǒng)根據(jù)不同的源水水質(zhì)采用不同的工藝。一般自來水經(jīng)一級反滲透系統(tǒng)處理后，產(chǎn)水電導率<10-20μS/cm，經(jīng)二級反滲透系統(tǒng)后產(chǎn)水電導率<5μS/cm甚至更低，在反滲透系統(tǒng)后輔以離子交換設(shè)備或EDI設(shè)備可以制備超純水，使電阻率高達18兆歐姆.厘米)。 反滲透膜老化或受污染后，產(chǎn)水質(zhì)量會下降。
導電率：0.055 μS/cm
細菌含量：1 CFU/ml
TOC： 3－10 ppb*
除熱原
性能：大每分鐘1.5升
標準組件
超凈過濾器裝置，濾筒用純聚丙烯制成
活性碳，清除無機、有機微量污染的離子交換樹脂(核級別)和吸附器樹脂
消毒過濾器，氣孔大小0.2μm
組件選件
紫外光氧化裝置作用，放射波長185、254nm
超濾器模塊
超高純的保證
■組件用高質(zhì)量材料制成
超純水循環(huán)
監(jiān)控給水導電率
監(jiān)控超純水極限數(shù)值
■給水
用離子交換、反滲透或蒸餾,法預(yù)先處理水
推薦的導電率為0,1-5μS/cm
給水溫度1－25℃
給水壓力2－6巴
*按給水量而定
■凈化水
導電率0.005μS/cm(18.2 MΩ-cm)
TOC值 10 ppb*（編號08.2202/08.2203）
TOC值 3ppb*(編號08.2204/08.2205)
流速zui大為每分鐘1.5升
細菌含量1CFU/ml
粒子(0.2μm),少于每亳升1μm
除熱原
產(chǎn)水量99%
*按給水量而定
■結(jié)構(gòu)
高純水系統(tǒng)可安裝成臺式或墻式，組成如下：
數(shù)字顯示外殼
低噪聲輸送、循環(huán)泵
高純水抗壓減壓器
塑料螺線管閥，用作自動沖洗閥
PVDF 排除活栓、0.2μm消毒過濾器
對所有送水零件進行消毒
所有送水組件均用聚丙烯或高質(zhì)量天然物質(zhì)制成
除熱源
UV裝置，分解有機物，有效波長185nm/254nm
安裝了過濾器裝置的TKA高純水系統(tǒng)生產(chǎn)出的高純水幾乎不含TOC。由于采取了不同的高純制備措施，因而盡可能減少了有機和無機成分。接線迅速接合，過濾器裝置安裝非常簡單。
■過濾器裝置組成
天然PP材料――避免退色
活性碳――去除有機物
專用離子交換樹脂（核級別）――去除無機離子
吸附器樹脂――去除溶解有機
低有機物除熱源型
低有機物型
除熱源型
基礎(chǔ)應(yīng)用型
1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 （≥18MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)
2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）(新工藝)
3、預(yù)處理→一級反滲透→加藥機（PH調(diào)節(jié)）→中間水箱→第二級反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥17MΩ.CM）(新工藝)
4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥15MΩ.CM）(新工藝)
5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象 （≥15MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)以上工藝各有各的優(yōu)勢，你可以根據(jù)你自身的情況選購適合你的工藝。隨著科學的發(fā)展，很多新的工藝已經(jīng)替代了舊的
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等用純水。
- 單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝用純水。
- 食品工業(yè)用水:飲用純凈水、礦泉水、資料、啤酒、乳業(yè)等。
- 海水、苦咸水淡化：海島、艦船、高鹽堿地區(qū)生活用水改善
- 樓宇、社區(qū)優(yōu)質(zhì)供水:星級賓館、機場、房產(chǎn)物業(yè)純水網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)等
- 化工行業(yè)工藝用水：化工冷卻、化肥、化學藥劑制造
- 工業(yè)產(chǎn)品制造用水：汽車、家電涂裝、涂料、油漆、精細加工清洗等
- 電力行業(yè)鍋爐補給水:熱力、火力發(fā)電鍋爐、中、低壓鍋爐動力系統(tǒng) 精細化工、精尖學科用水
