集成電路超純水設備公司

一、集成電路超純水設備公司概述

集成電路超純水設備的工藝技術為EDI，也就是整個設備的核心。設備原水為市政自來水經(jīng)過電動閥到達多介質(zhì)過濾器，再到達活性過濾器、軟水器、保安過濾器，可以去除原水中的懸浮物、細菌、膠體等。原水到達RO和EDI結合的主機，到達精度高的微孔過濾器然后可以出純水。

二、集成電路用超純水設備水質(zhì)標準

超純水設備出水水質(zhì)*符合美國ASTM純水水質(zhì)標準、我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術標準（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準）、我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準、美國半導體工業(yè)用純水指標、日本集成電路水質(zhì)標準、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標準。

三、超純水設備系統(tǒng)工藝流程

集成電路超純水設備系統(tǒng)采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm

1、采用離子交換方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→*級反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

3、采用EDI方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點

四、超純水設備工藝簡述

超純水中有機物含量由測定有機物碳含量而定，電子工業(yè)超純水中規(guī)定含量為50～200微克/升,并要求直徑大于1微米的顆粒性物質(zhì)每1毫升內(nèi)含量為1～2個，微生物每1毫升為0～10個?，F(xiàn)代采用預處理、電滲析、紫外線殺菌、反滲透、離子交換、超濾和各種膜過濾技術等，使超純水的電阻率在25℃時達到18(兆歐·厘米).

依各種原水水質(zhì)和用戶要求的不同，超純水制備工藝大體可分為預處理、脫鹽和精處理三步。 　　

1.預處理

包括砂濾、多介質(zhì)過濾、軟化、加氯、調(diào)節(jié)pH、活性碳過濾、脫氣等。過濾可除去 1～20微米大小的顆粒，軟化和調(diào)節(jié)pH可防止反滲透膜結垢，加氯是殺菌?；钚蕴歼^濾是除去有機物和自由氯，脫氣是清除溶于水中的CO2等。 　

2.脫鹽

包括電滲析、反滲透、離子交換。電滲析的原理是在外加直流電場作用下利用陽離子和陰離子交換膜對離子選擇性透過，脫鹽率可達95%以上。反滲透是滲透現(xiàn)象的逆過程,在濃溶液上加壓力,使溶劑從濃溶液一側(cè)通過半透膜向稀溶液一側(cè)反向滲透，脫鹽可達98%，并能除去99%的細菌顆粒和溶解在水中的有機物。離子交換的原理是當水通過陽離子交換樹脂時，水中的陽離子被陽離子交換樹脂吸附，樹脂上可交換的陽離子如H離子被置換到水中，并和水中的陰離子結合成相應的無機酸，如  超純水

這種含有無機酸的水，當下一步通過陰離子交換樹脂層時，水中的陰離子被陰離子交換樹脂吸附。樹脂上可交換的陰離子如OH離子被置換到水中,并與水中的H離子結合成水，即 超純水

3.精處理

包括紫外線殺菌、終端膜過濾和超濾。紫外線殺菌是因生物體的核酸吸收紫外線光的能量而改變核酸自身結構,破壞核酸功能而使細菌死亡。殺菌的光譜波長為2600埃。各種膜過濾能除掉直徑大于0.2微米的顆粒，但對于清除有機物則不如反滲透和超濾有效。超濾是把各種選擇性的分子分離。在超濾過程中，水在壓力下流過一個卷式或中空纖維膜棒。膜孔徑在10～200埃范圍內(nèi),薄膜厚度為0.1～0.5微

集成電路超純水設備優(yōu)點

　　集成電路超純水設備可以連續(xù)不間斷制水，出水水質(zhì)的穩(wěn)定性和連續(xù)性強。設備采用的當今*的EDI技術，已經(jīng)逐步取代了傳統(tǒng)的離子交換工藝。設備不需要化學再生停機，占地面積非常小操作方便。

　　我國對于生產(chǎn)中的潔能要求越來高，這些同樣也是對電子工業(yè)生產(chǎn)的要求，集成電路超純水設備就是如此。設備全自動運行無需專人看護，運行費用及維修成本低，運行過程中無需化學藥劑再生。設備產(chǎn)水水質(zhì)符合國家標準，以及美國ASTM純水等標準。我們廠家主要生產(chǎn)專業(yè)的超純水設備，我們會用好的技術生產(chǎn)各種超純水設備。不僅生產(chǎn)集成電路超純水設備，還生產(chǎn)精細化工超純水設備，制藥用超純水設備等等，種類多樣，質(zhì)量可靠。

五、超純水設備應用領域

1.半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路

2.電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗　　

3.電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液　　

4.顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、配料用純水　　

5. 黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水　　

6.液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液　　

7.晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制　　

8.集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片　　

9.LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏　　

10.高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn)　　

11.半導體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗　　

12.超純材料和超純化學試劑、超純化工材料　　

13.汽車、家電表面拋光處理　　

14.光電產(chǎn)品、其他高科技精微產(chǎn)品