濱州微電子無(wú)塵室廠家安裝
微電子學(xué),是以集成電路設(shè)計(jì)、制造與應(yīng)用為代表的學(xué)科,是現(xiàn)代發(fā)展迅速的高科技應(yīng)用性學(xué)科之一。主要是集成電路、微電子系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、制造工藝和設(shè)計(jì)軟件系統(tǒng),對(duì)于微電子無(wú)塵室具體怎么裝修,裝修中需要注意哪些事項(xiàng)呢?
濱州微電子無(wú)塵室廠家安裝,對(duì)于無(wú)塵室安裝的幾點(diǎn)要求:
1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。
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(1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對(duì)濕度為55+5%。
(2)新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內(nèi),人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。
(3)送風(fēng)量大。為了滿足無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風(fēng)量,就300平方米的車(chē)間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。
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