河南*廚房空氣凈化車間裝修鄭州市食品廠
一、人流
首先是人員凈化;電子廠凈化車間入口宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時,應設氣閘室;單人空氣吹淋室,應按班人數(shù)30人設一臺。潔凈室人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設單向旁通門;空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,應采取連鎖控制措施;空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室,宜設氣閘室。
二、物流
電子廠凈化車間內的設備和物料出入口,應獨立設置,并應根據(jù)設備和物料的特征、性質、形狀等設置凈化用室及相應的物凈設施;物料凈化用室與潔凈室之間應設置氣閘室或傳遞窗。
三、靜壓差
不同等級的電子廠凈化車間之間的靜壓差應大于等于5Pa;潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于5Pa;潔凈室與室外的靜壓差應大于10Pa
一、潔凈室之定義
潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非*沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
如表所示,每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的*。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。
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