瑞士 sawatec HP-150 熱版機
電爐 HP - 150
精密軟硬烘烤
該熱板HP-150是為典型的軟烘焙和硬烘焙工藝的巖性,在MEMS和類似的應(yīng)用。默認(rèn)情況下,溫度范圍設(shè)計為250℃以下。設(shè)定的溫度和溫度分布具有較窄的邊界,這意味著可以達(dá)到較高的涂層質(zhì)量。HP系列產(chǎn)品具有較高的均勻性和高精度的工藝重復(fù)性,令人信服。可用于直徑150mm以下,大厚度5mm的襯底。
熱板易于平整,防止光刻膠通過真空手動固定基板的放電手動加載和卸載基板。
性能數(shù)據(jù)
溫度范圍:環(huán)境溫度250℃以下溫度精度:100℃時+/- 1℃
額外的功能(選項)
氮氣手動沖洗,不氧化
簡單的設(shè)置工具,為優(yōu)化對齊的熱板
功能(基本配置)
溫度控制采用數(shù)字目標(biāo)值和實際值顯示,溫度自動限位開關(guān),無過熱現(xiàn)象
熱板采用安全玻璃,清洗方便
瑞士 sawatec HP-150 熱版機
藍(lán)星宇科技專業(yè)研發(fā)設(shè)計組裝:紫外臭氧清洗機(UV清洗機),準(zhǔn)分子清洗機,等離子清洗機等儀器設(shè)備。引進日本,德國,韓國*技術(shù),設(shè)備已獲得眾多院校,研究所,高科技企業(yè)等客戶*認(rèn)可。
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