三溫區(qū)真空氣氛回轉(zhuǎn)爐CVD系統(tǒng)
備特點(diǎn)：
CVD1200C 900D60IIIR 3ZLV 是集三溫區(qū)真空回轉(zhuǎn)爐、三路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)及低真空機(jī)組而成一種動(dòng)態(tài)狀態(tài)下的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。三溫區(qū)開(kāi)啟式真空回轉(zhuǎn)管式爐采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，爐體表面溫度≤60℃，爐膛采用高純度氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型。。進(jìn)口加熱電阻絲鑲嵌延長(zhǎng)爐體使用壽命，該設(shè)備容許粉末樣品在高溫狀態(tài)下動(dòng)態(tài)燒結(jié)處理，配備磁流體密封裝置，使得整個(gè)設(shè)備處于真空狀態(tài)下工作。特殊樣品倉(cāng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，避免傳統(tǒng)回轉(zhuǎn)爐取樣等繁瑣操作，該回轉(zhuǎn)加熱爐與氣路控制系統(tǒng)及真空構(gòu)成真空回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)，滿足樣品在真空或者氣氛條等多種實(shí)驗(yàn)條件下燒結(jié)，工藝擴(kuò)展型好，重復(fù)性好。是專為高等院校﹑科研院所的實(shí)驗(yàn)室及工礦企業(yè)在高溫真空添加下處理粉末材料的理想設(shè)備.
技術(shù)參數(shù)：
名稱 | 規(guī)格 | 開(kāi)啟式三溫區(qū)真空回轉(zhuǎn)管式爐CVD系統(tǒng) CVD1200C 900D60IIIR3ZLV |
三溫區(qū)真空回轉(zhuǎn)爐 | 爐管尺寸 | Φ60×1400mm 更多其他規(guī)格石英管可選（Φ50/60/80/100mm等） 配備特殊設(shè)計(jì)石英樣品倉(cāng)，可將樣品倉(cāng)整管取出，取放樣方便 |
主要參數(shù) | 高溫度: 1200℃(使用時(shí)必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變) 工作溫度: 1100℃ *升溫速率:≤10℃/min 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 300+300+300mm 額定功率：7KW 旋轉(zhuǎn)速度：0-13轉(zhuǎn)/min 電壓：?jiǎn)蜗郃C 208 - 240V, 50Hz | |
爐體結(jié)構(gòu) | 雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C 高純狀氧化鋁纖維絕緣層，大限度節(jié)約能源 爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長(zhǎng)爐子的使用壽命 | |
溫控系統(tǒng) | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能 智能化30段可編程控制 具有超溫及斷偶報(bào)警功能 控溫精度: ±1 ℃ K型熱電偶 可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集（需另購(gòu)） | |
溫控儀表（可選） | 標(biāo)配儀表品牌為宇電，可其他品牌溫控儀表，如島電等。 | |
管堵 | 多種規(guī)格管堵，防止來(lái)自內(nèi)部管子的熱輻射，管堵在加熱前必須*放入爐腔。石英管堵滿足潔凈實(shí)驗(yàn)環(huán)境或者較高真空需求 | |
密封系統(tǒng) | 爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。（包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭） 如需獲得較高的真空度，建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計(jì)（需另外訂購(gòu)） 出氣端配備磁流體密封裝置，容許設(shè)備在連續(xù)真空條件下工作。 備注：本公司標(biāo)配法規(guī)格如下進(jìn)氣端Φ6卡套接口，可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。 出氣端預(yù)留KF25接口，方便連接真空泵，KF16接口，方便連接數(shù)顯真空計(jì)，以及Φ9氣嘴接頭，以便出氣 | |
擴(kuò)展端口 | 如進(jìn)氣管道為橡膠軟管，則需將進(jìn)氣口更換成Φ9氣嘴接頭 | |
真空度 | 雙極旋片機(jī)械泵：10^-1Pa 分子泵機(jī)組：10^-3 Pa 可選配本公司配套高低真空 | |
外形尺寸 | 650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H) | |
凈重 | 40Kg | |
三路質(zhì)量流量控制系統(tǒng) MFC-3Z | 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
針閥材質(zhì) | 316不銹鋼 | |
量程 | 50sccm、100sccm、200sccm（可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇） | |
工作溫度 | 5～45℃ | |
外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 750(H) mm | |
電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
功率 | 23W | |
真空系統(tǒng) LVU-10 | 殼體尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
大承載量 | 1000 Lbs | |
抽氣速率 | 10m³/h 極限真空度：10-1Pa 雙層立式油污過(guò)濾器(PE材質(zhì)）與真空泵連接 | |
質(zhì)保期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 | |
相關(guān)應(yīng)用 | 爐膛內(nèi)襯可以單獨(dú)更換（額外付費(fèi)） 可以根據(jù)要求設(shè)計(jì)成帶有滑動(dòng)法蘭的爐子 | |
應(yīng)用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） | |
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