晶圓接觸角測(cè)量?jī)x采用*的CCD數(shù)字?jǐn)z像機(jī),配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統(tǒng),搭配三維樣品臺(tái),可進(jìn)行工作臺(tái)上下、前后等方向移動(dòng)。實(shí)現(xiàn)微量進(jìn)樣及上下、左右精密移動(dòng)。同時(shí)還設(shè)計(jì)了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺(tái),能適應(yīng)在不同用戶材料厚度加大的場(chǎng)合。儀器框架可以根據(jù)式樣的大小適量調(diào)節(jié),擴(kuò)大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能,測(cè)試多次后的結(jié)果可以同時(shí)保存在同一報(bào)告下,能讓用戶更好的對(duì)材料數(shù)據(jù)進(jìn)行管控。該儀器設(shè)計(jì)美觀大方、操作簡(jiǎn)單、符合用戶所需。
晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體晶圓(Wafer)工藝的質(zhì)量控制。提供晶圓(Wafers)表面的快速并準(zhǔn)確的接觸角/表面能分析,從而評(píng)估粘性,潔凈度及鍍膜。 采用輕量化的設(shè)計(jì)、組裝方便和新的基于 Windows標(biāo)準(zhǔn)的用戶友好型軟件,以創(chuàng)建一個(gè)即精準(zhǔn)容又容易使用的接觸角測(cè)量?jī)x系統(tǒng)。 注射滴液機(jī)制可以抬起便于裝載,消除了對(duì)晶圓 (Wafers)可能產(chǎn)生的損壞。用于晶圓表面分析,同時(shí)也可用于其它需要測(cè)量較大體積樣件的分析應(yīng)用。樣件大可允許 300 X 300 X 19mm。
接觸角測(cè)量?jī)x主機(jī)及測(cè)試視頻的操作視頻及圖片:
(1)主機(jī)使用高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計(jì)理念,自主研發(fā)的集成芯片電路控制,保證儀器以佳狀態(tài)運(yùn)行;
(2)成像部分使用高性能日本*工業(yè)機(jī)芯及無(wú)失真遠(yuǎn)心鏡頭確保佳的成像效果。
(3)工業(yè)級(jí)可調(diào)LED單波長(zhǎng)冷光源系統(tǒng),成像更清晰
(4)自動(dòng)位移平臺(tái),實(shí)現(xiàn)Y、Z自動(dòng)定位測(cè)量,定點(diǎn)地位更精確,測(cè)量效率更高
規(guī)格:
主機(jī)外形尺寸:1200mm(長(zhǎng))*600mm(寬)* 670mm(高) 主機(jī)凈重:55KG
工作臺(tái)面尺寸:420mm*420mm
工作臺(tái)移動(dòng):自動(dòng),行程160mm,精度0.01mm;上下移動(dòng) 手動(dòng),行程20mm,精度0.01mm
進(jìn)樣器移動(dòng):自動(dòng)上下60mm(自動(dòng)); 左右30mm
工業(yè)鏡頭:前后移動(dòng)30mm(微調(diào)3mm),0.7X *-4.5X連續(xù)變倍變焦顯微鏡
CCD:SONY*高速工業(yè)級(jí)芯片; 鏡頭角度可調(diào)試:仰視、平視、俯視多視角觀察
光源:LED可調(diào)節(jié)藍(lán)色基調(diào)工業(yè)級(jí)冷光源;使用壽命達(dá)貳萬(wàn)伍仟小時(shí)以上
電源及功率:220V / 60HZ
晶圓產(chǎn)品處理前WORD報(bào)告及測(cè)試圖片:我們對(duì)樣品進(jìn)行十個(gè)點(diǎn)的測(cè)試,平均角度72.04度。
晶圓產(chǎn)品處理后WORD報(bào)告及測(cè)試圖片:我們對(duì)樣品進(jìn)行十個(gè)點(diǎn)的測(cè)試后,再用等離子清洗機(jī)處理,平均角度16.58度。
標(biāo)樣校檢報(bào)告:儀器檢驗(yàn)信息
儀器名稱(chēng):
接觸角測(cè)量?jī)x
檢驗(yàn)時(shí)間:
2018.10.08
儀器型號(hào):
SDC-500
綜合判定:合格
校檢單位:東莞市晟鼎精密儀器有限公司
效驗(yàn)人員:趙衛(wèi) 主管:張新飛
晶圓系列接觸角測(cè)量?jī)x對(duì)于工藝的表面涂覆評(píng)估;
表面污染物檢測(cè);
表面親疏性的研究;
表面潤(rùn)濕性能的判斷;
涂覆均勻性檢測(cè);
涂覆質(zhì)量評(píng)估;
表面清潔度檢測(cè);
研究粘附性、潤(rùn)濕特性、粘接質(zhì)量、表面處理;
半導(dǎo)體晶片、硬盤(pán)、 平板顯示器和生物材料等表面涂層的吸收研究。