產(chǎn)品名稱：OLED顯微鏡
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：OLED顯微鏡是利用金屬光激發(fā)OLED自主發(fā)光后測(cè)量OLED蒸鍍尺寸和偏移等缺陷的顯微鏡。影像量測(cè)著重于精準(zhǔn)度，系統(tǒng)底座采用鑄件/花崗石本體結(jié)構(gòu)，減震系統(tǒng)克服環(huán)境震動(dòng)問(wèn)題，可解決高倍率解析時(shí)的震動(dòng)問(wèn)題。系統(tǒng)采用XY軸光學(xué)尺模塊可實(shí)現(xiàn)跨距量測(cè)。光學(xué)系統(tǒng)采用Nikon/Olympus熒光顯微鏡光路實(shí)現(xiàn)對(duì)OLED的激發(fā)。人性化計(jì)算機(jī)量測(cè)模式，有效提高觀察定位效率。專(zhuān)為使用者設(shè)計(jì)*機(jī)型，使操作更便利、測(cè)量更迅速。
產(chǎn)品概述&參數(shù)
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 手動(dòng)量測(cè)系統(tǒng)XY采用精密無(wú)牙螺桿傳動(dòng)，減少齒輪傳動(dòng)偏移誤差
- 線性馬達(dá)/伺服馬達(dá)用于自動(dòng)化量測(cè)傳動(dòng)系統(tǒng)，能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量
- 系統(tǒng)采用被動(dòng)式or主動(dòng)式減震系統(tǒng)，能克服環(huán)境震動(dòng)問(wèn)題，可解決高倍率解析時(shí)的震動(dòng)問(wèn)題
- 系統(tǒng)使用Nikon/Olympus 熒光顯微光路，有效激發(fā)OLED發(fā)射光譜
- 系統(tǒng)使用人體工學(xué)設(shè)計(jì)理念設(shè)計(jì)，符合友好化測(cè)量
設(shè)備應(yīng)用：
設(shè)備主要應(yīng)用OLED的顯微分析和蒸鍍測(cè)量上
量測(cè)工具 | 點(diǎn),線,圓,弧,橢圓,槽型,曲線等各項(xiàng)不規(guī)則外型取樣 |
形位公差 | 真圓度,同心度,垂直度,傾斜度,位置度,等各項(xiàng)形位公差設(shè)置 |
UV功能驗(yàn)證 | UV光源下圖像清晰 |
斷面測(cè)量 | 按照PO spec要求進(jìn)行測(cè)試并保存結(jié)果 |
自動(dòng)計(jì)算offset | 根據(jù)蒸鍍有機(jī)材料的位置與設(shè)定的蒸鍍位置對(duì)比,計(jì)算offset;或者是將UV光圖像位置和上光源下圖片位置對(duì)比,計(jì)算offset |
UV光和鹵素光自動(dòng)切換 | 在軟件中點(diǎn)擊切換按鈕后,可以自動(dòng)切換光源并呈現(xiàn)相應(yīng)的圖像 |
SPC | 軟件須附帶SPC功能,量測(cè)之?dāng)?shù)據(jù)須能自動(dòng)導(dǎo)出作分析 |
報(bào)表輸出 | 軟件可客制化輸出客戶所需之 EXCEL,TXT,WORD,JPG |
7.3.2 設(shè)備配置&特征 7.3.2System Configuration& Characteristic
| 外部尺寸：L*W*H≤2500*2500*2000mm |
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*測(cè)量行程：X*Y≥750*650mm Z≤100mm |
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重量：≤5000kg |
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承重：≥10kg Capacity: ≥10kg |
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*測(cè)量精確度：XYZ≤1μm *Maximum Accuracy: XYZ≤1μm |
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*機(jī)臺(tái)重復(fù)性：≤1μm *Machine Repeatability:≤1μm |
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XYZ小移動(dòng)距離：XYZ≤1um XYZ minimum move distance: XYZ≤1um |
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XYZ移動(dòng)精度: XYZ≤1um XYZ move precision: XYZ≤1um |
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*XYZ軸移動(dòng)速度: XYZ≤200mm/s |
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7.3.3機(jī)械本體 7.3.3 Mechanics | 主機(jī)：影像測(cè)量系統(tǒng)，四軸CNC控制 Machine: 4-axis CNC video measuring machine |
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機(jī)械結(jié)構(gòu)：花崗巖或相同性能材質(zhì) Structure: Granite or comparable material |
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平面度公差：≤7um Platness Tolerance: ≤7um |
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*光柵尺分辨率：XYZ≤0.5um |
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*攝像機(jī)：彩色相機(jī)，200萬(wàn)像素,WAN接口 *Camera: Color camera, 2000000 pixels, the wan interface |
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*CCD芯片尺寸：≥2/3英寸 *CCD Size: ≥2/3 inch |
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光學(xué)系統(tǒng)配置：檢偏鏡，起偏鏡，紅藍(lán)綠濾光片，0.5X C接口，明暗場(chǎng)光學(xué)系統(tǒng)，五孔電動(dòng)鼻輪 The optical system configuration: a polarizer, red green and blue filters, 0.5X C-mount, bright and dark field optical body, five holeelectric nose-wheel |
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*光學(xué)放大倍率：5X/10X/20X/50X/100X |
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光源特征：光源可以采用鹵素?zé)?、汞燈，壽命滿足SPEC要求 |
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7.3.5電控系統(tǒng)、 7.3.5 Control System | 電機(jī)：直流伺服電機(jī) Dynamo:DC servo motor |
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操作類(lèi)型：鼠標(biāo)和操作手柄，按鍵 Control Type: Mouse and Joystick |
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7.3.6軟件系統(tǒng) 7.3.6 Software System | 功能:點(diǎn)，直線，圓，弧，橢圓，槽等測(cè)量功能，帶有線追蹤功能，粒子計(jì)數(shù)，軟件定位系統(tǒng)，軟件控制光源亮度，軟件控制電動(dòng)鼻輪，軟件控制孔徑光闌 |
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圖像：可復(fù)制，可進(jìn)行大面積圖形無(wú)縫拼接 Image: can copy |
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*數(shù)據(jù)格式：JPG/Excel *Data format: JPG/Excel |
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7.3.7 其它 7.3.7 Others | *防微振裝置:達(dá)到VC-B級(jí)別的防震平臺(tái) *Anti-vibration device: Yes |
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*靜電防護(hù)：離子風(fēng)棒 *ESD: BUAS |
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