介質(zhì)要求：潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類：內(nèi)置了130種氣體，請咨詢

一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量程：從0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（詳情請咨詢）

量程比：100:1

zui大顯示流量：102.4%FS

顯示屏：同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程

高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

重復(fù)性：± 0.2% FS

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移：0.02% F.S / ºC / Atm

預(yù)熱時間：<1s

響應(yīng)時間：100ms

標(biāo)定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)

工作溫度：-10 ～ +50 ºC

工作濕度：0-*,無冷凝

標(biāo)準(zhǔn)zui大工作壓力：1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng)：2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號：RS232、RS485、Modbus、Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流：250mA ～ 750mA

電氣接口：8針Mini-DIN、DB9、DB15、6針工業(yè)接頭

材質(zhì)：316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

防護(hù)等級：IP40

* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及

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