太陽(yáng)能硅片厚度儀是制備太陽(yáng)能硅片過(guò)程中*的檢測(cè)設(shè)備,硅片厚度有一定的偏差范圍,對(duì)于180μm厚度的硅片,其偏差范圍為±20μm,超過(guò)此范圍則成為不良品--薄厚片。薄厚片是衡量硅片品質(zhì)的一個(gè)很重要的指標(biāo)。薄厚片的存在會(huì)影響硅片合格率及電池片的生產(chǎn)工藝,因此硅片厚度成為一項(xiàng)重要檢測(cè)指標(biāo)。
的技術(shù)參數(shù):
測(cè)量范圍 0-2mm (其他量程可定制
分辨率 0.1um
測(cè)量速度 10次/min(可調(diào))
測(cè)量壓力 17.5±1kPa(薄膜);100±1kPa(紙張)
接觸面積 50mm²(薄膜),200mm²(紙張) 注:薄膜、紙張任選一種
進(jìn)樣步矩 0 ~ 1300 mm(可調(diào))
進(jìn)樣速度 0 ~ 120 mm/s(可調(diào))
機(jī)器尺寸 450mm×340mm×390mm (長(zhǎng)寬高)
重 量 23Kg
工作溫度 15℃-50℃
相對(duì)濕度 zui高80%,無(wú)凝露
試驗(yàn)環(huán)境 無(wú)震動(dòng),無(wú)電磁干擾
工作電源 220V 50Hz
標(biāo)準(zhǔn) GB/T 6618-2009《硅片厚度和總厚度變化測(cè)試方法》中給出了硅片厚度的測(cè)量方法,并對(duì)檢測(cè)儀器的相關(guān)參數(shù)做出了規(guī)定:
1.測(cè)厚儀由帶指示儀表的探頭及支持硅片的夾具或平臺(tái)組成。
2.測(cè)厚儀應(yīng)能使硅片繞平臺(tái)中心旋轉(zhuǎn),并使每次測(cè)量定位在規(guī)定位置的2mm范圍內(nèi)。
3.儀表zui小指示量值不大于1μm。
4.測(cè)量時(shí)探頭與硅片接觸面積不應(yīng)超過(guò)2mm²。
CHY-U型*上述要求,還配有自動(dòng)進(jìn)樣器,可完成2mm范圍內(nèi)各種薄膜、復(fù)合膜、紙張、金屬箔片等硬質(zhì)和軟質(zhì)材料厚度精確測(cè)量。在太陽(yáng)能硅片的生產(chǎn)過(guò)程中能夠起到重要作用。
濟(jì)南三泉中石實(shí)驗(yàn)儀器有限公司是研發(fā)與生產(chǎn)的高科技企業(yè),擁有比較全面的復(fù)合膜測(cè)厚儀、金屬鍍層測(cè)厚儀、紙張測(cè)厚儀等測(cè)試體系,咨詢(xún)。