產(chǎn)品用途：
超精密二維測量平臺
應用范圍: 半導體技術(shù)
應用: 測量孔的通否/過光
行程: 340 mm x 330 mm
定位精度: < 10 nm （全程范圍內(nèi)）
驅(qū)動方式: 磨擦輪驅(qū)動
zui大加速度: 0.25 m/s2
高動態(tài)直線電機
采用AeroLas的空氣軸承可以使直線電機有極其高的精度和高動態(tài)特性：實際加速度達到400 m/s2 (理論上可達 1.000.000 m/s2). 
應用于齒輪測量，幾年來已連續(xù)運行60億次以上
行程： 100 mm
負載：2 kg
高加速度雙軌式直線電機
截面：500 mm x 250 mm)，加速度達300 m/s2且精密定位。 采用空氣軸承，受溫度變化影響小，電纜不動，行程： 150 mm
負載：10 kg
zui大加速度: > 300 m/s2
zui大速度: 4.7 m/s

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