功能用途
本產(chǎn)品利用渦流原理制造:即被測(cè)蒸鋁層靠近高頻激磁磁場(chǎng)時(shí), 感應(yīng)產(chǎn)生渦電流, 因而產(chǎn)生渦流磁場(chǎng), 此渦流磁場(chǎng)反作用于原來(lái)激磁磁場(chǎng), 使傳感器阻抗發(fā)生變化, 然后通過(guò)檢測(cè)電路并進(jìn)行放大, 輸出與厚度相對(duì)應(yīng)模擬電壓。
技術(shù)參數(shù)
可測(cè)量范圍與量程
被測(cè)薄膜尺寸:100mm±10%×200mm±10%
測(cè)量量程:厚度90~800Å (0.009~0.08µm) 方阻95~0.47Ω/□
精 確 度
測(cè)量準(zhǔn)確度:厚度 ±(20Å+2%讀數(shù)) 方阻 ±0.15Ω/□(在300~500Å范圍)
讀數(shù)重現(xiàn)性 :10Å (同一測(cè)量點(diǎn))
儀器尺寸:120 x 320 x 400(毫米)
重 量 :毛重7公斤
配置
鍍鋁膜測(cè)厚儀壹臺(tái)
校正片一片
電纜線一根