≡ 簡單介紹 ≡
鋁膜測試儀利用渦流原理制造: 即被測蒸鋁層靠近高頻激磁磁場時(shí), 感應(yīng)產(chǎn)生渦電流, 因而產(chǎn)生渦流磁場, 此渦流磁場反作用于原來激磁磁場, 使傳感器阻抗發(fā)生變化, 然后通過檢測電路并進(jìn)行放大, 輸出與厚度相對(duì)應(yīng)模擬電壓。
為了減少漂移即減少重復(fù)性誤差和提高測量準(zhǔn)確度,本儀器應(yīng)用智能功能單片機(jī)系統(tǒng),即對(duì)測厚過程中非線性和零漂進(jìn)行校正,因而提高了測量準(zhǔn)確度。
≡ 技術(shù)參數(shù) ≡
可測量范圍與量程:被測薄膜尺寸 100mm±10%×200mm±10%
測量量程 厚度90~800Å(0.009~0.08µm)
方阻95~0.47Ω/□
精確度:測量準(zhǔn)確度 厚度 ±(20Å+2%讀數(shù))
方阻 ±0.15Ω/□(在300~500Å范圍)
讀數(shù)重現(xiàn)性 10Å (同一測量點(diǎn))