真空開(kāi)關(guān)真空度測(cè)試儀
主要特點(diǎn)
★基于電離電荷的采樣技術(shù)
ZKY-2000型真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我廠專(zhuān)家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此,我廠*了基于電離電荷的采樣技術(shù),顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。
★漏電電流的處理
對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí),會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性,并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無(wú)論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。
★內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同,當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí),其放電電荷量是不同的,并且有相當(dāng)?shù)牟町?。為?zhǔn)確測(cè)量,對(duì)每一種真空滅弧室必須有對(duì)應(yīng)的從電離電荷量到真空度的推算曲線。我廠 的專(zhuān)家通過(guò)與國(guó)內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作,取得了幾乎國(guó)內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù),通過(guò)數(shù)學(xué)處理,將其特征參數(shù)送入ZKY-2000系列產(chǎn)品。因此,ZKY-2000系列產(chǎn)品內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線。
這是國(guó)內(nèi)外同類(lèi)產(chǎn)品中*的。
關(guān)鍵詞:真空開(kāi)關(guān)真空度測(cè)試儀,,
技術(shù)參數(shù)
▲測(cè)量范圍: 1*10-5~1*10-1pa
▲測(cè)量誤差: l*l0-4~1*l0-1pa中誤差<5%
▲測(cè)量分辨率: 10-5pa
▲允許環(huán)溫: O℃~55℃
▲空氣濕度: <85%RH
▲電 源: AC220士10%
▲外型尺寸: 430X300X235mm
ZKY-2000型整機(jī)附件包括:
可拆式線圈 一個(gè)
磁控電流輸出線 一條
信號(hào)輸入線 一條
儀器電源線 一條
使用說(shuō)明書(shū) 一本
合格證 一份
保修卡 一份