產(chǎn)品名稱:微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品型號:ZLM800 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品產(chǎn)地:德國 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
制 造 商:德國耶拿爾測量技術(shù)有限公司 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
詳細介紹: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀,主要用于微位移部件的測量,角度變化量的監(jiān)測,移動平臺運動情況的檢測,及光刻機幾何量的測量,數(shù)控機床幾何量的測量,zui多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。具有以下性能優(yōu)勢: l 真正意義上的雙頻激光干涉儀,兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別。德國耶拿爾公司是為數(shù)不多的雙頻激光干涉儀的制造商,*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。 l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造,絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡,是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。 l 激光器壽命更長,可達20000小時,激光穩(wěn)頻精度高,一小時內(nèi)為±0.002ppm,在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm。 l 干涉鏡采用差分干涉原理,系統(tǒng)精度更高,可達±0.4ppm。 l 計算機輔助光路調(diào)整,調(diào)整結(jié)果更準確。 l 采樣頻率更快,zui高達1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。 l 被測物體zui大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器,分辨率達0.6nm(當移動速度為1m/s時,線性分辨率更可高達為0.1nm)。 l 無加速度限制;當光線微弱時,性能也十分穩(wěn)定。 l 信號延時<200ns;對電磁干擾不敏感。 l 對于多軸聯(lián)動的復(fù)雜光路測量和微位移測量,ZLM800型是理想的選擇。 技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用案例 以下是為*設(shè)計的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個應(yīng)用案例。在*個案例中,用兩個3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個擺鏡的擺動,實時測試兩個擺鏡對應(yīng)量(俯仰、偏擺和位移)的差異情況。在第二個案例中,用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況,2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運動情況。 以下是為國內(nèi)某研究所某項目設(shè)計的ZLM800測量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測物體放置在密閉箱中,密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標Ⅰ、被監(jiān)視目標Ⅱ的X、Y向的角度變化量,以及這兩個目標在Z方向的相對變化量。 ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖 |
微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀
參考價 | 面議 |
- 公司名稱上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司
- 品 牌
- 型 號
- 所 在 地上海市
- 廠商性質(zhì)代理商
- 更新時間2017/9/8 21:04:42
- 訪問次數(shù)793
上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司(意大利帕瓦內(nèi)稱重系統(tǒng)有限公司中國聯(lián)絡(luò)處)——主要從事工業(yè)自動化儀器儀表、機械設(shè)備、電子產(chǎn)品、五金交電及其配件等的銷售和技術(shù)服務(wù)工作。 我們致力于將歐美*的工業(yè)自動化儀器儀表和機械設(shè)備介紹到中國,滿足中國各行業(yè)市場對工業(yè)產(chǎn)品的需要。
我們經(jīng)營產(chǎn)品主要包括稱雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、材料色散測量儀、相位波前角色散測量儀、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀、載波包絡(luò)相移測量儀、激光對中儀、激光平面度測量儀、激光同軸度測量儀、激光孔位測量儀、重傳感器、稱重變送器、稱重接線盒、PT100溫度變送器、熱電偶溫度變送器、電壓信號轉(zhuǎn)換器、電流信號轉(zhuǎn)換器、頻率變送器、模擬信號-頻率轉(zhuǎn)換器、模擬量信號轉(zhuǎn)頻率信號等。
除實物產(chǎn)品外,我們還提供各種自動化控制系統(tǒng)的成套設(shè)計、通訊程序編寫及各種配套方案等技術(shù)支持,主要包括:稱重配料控制系統(tǒng)解決方案、定量包裝控制系統(tǒng)解決方案、高精度溫度控制系統(tǒng)解決方案及各種計量控制系統(tǒng)解決方案。
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