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微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時間2017/9/8 21:04:42
  • 訪問次數(shù)793
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食品機械設(shè)備網(wǎng)采購部電話:13777369734

聯(lián)系我們時請說明是 食品機械設(shè)備網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!

上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司(意大利帕瓦內(nèi)稱重系統(tǒng)有限公司中國聯(lián)絡(luò)處)——主要從事工業(yè)自動化儀器儀表、機械設(shè)備、電子產(chǎn)品、五金交電及其配件等的銷售和技術(shù)服務(wù)工作。 我們致力于將歐美*的工業(yè)自動化儀器儀表和機械設(shè)備介紹到中國,滿足中國各行業(yè)市場對工業(yè)產(chǎn)品的需要。



我們經(jīng)營產(chǎn)品主要包括稱雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、材料色散測量儀、相位波前角色散測量儀、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀、載波包絡(luò)相移測量儀、激光對中儀、激光平面度測量儀、激光同軸度測量儀、激光孔位測量儀、重傳感器、稱重變送器、稱重接線盒、PT100溫度變送器、熱電偶溫度變送器、電壓信號轉(zhuǎn)換器、電流信號轉(zhuǎn)換器、頻率變送器、模擬信號-頻率轉(zhuǎn)換器、模擬量信號轉(zhuǎn)頻率信號等。



除實物產(chǎn)品外,我們還提供各種自動化控制系統(tǒng)的成套設(shè)計、通訊程序編寫及各種配套方案等技術(shù)支持,主要包括:稱重配料控制系統(tǒng)解決方案、定量包裝控制系統(tǒng)解決方案、高精度溫度控制系統(tǒng)解決方案及各種計量控制系統(tǒng)解決方案。



我們的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于機械和設(shè)備工程、汽車、倉儲、輸送、印刷、門控、化工、冶金、石油、電力、水利、鋼鐵、輕工、制藥、造紙、制革、噴涂、水泥、玻璃、食品、陶瓷、化纖、塑料、飼料、煤炭、紡織、農(nóng)業(yè)和包裝等行業(yè)。歡迎您選購我們代理經(jīng)銷的各種產(chǎn)品,我們將以飽滿的熱情,周到的服務(wù),客戶*的原則,為您提供滿意的產(chǎn)

雙頻激光干涉儀,多點溫度測量儀,材料色散測量儀,相位波前角色散測量儀,載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀,載波包絡(luò)相移測量儀,激光對中儀,激光平面度測量儀,激光同軸度測量儀,激光孔位測量儀
真正意義上的雙頻激光干涉儀,兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別。德國耶拿爾公司是為數(shù)不多的雙頻激光干涉儀的制造商,*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定
微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀 產(chǎn)品信息

 
產(chǎn)品名稱:微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀
產(chǎn)品型號:ZLM800
產(chǎn)品產(chǎn)地:德國
制 造 商:德國耶拿爾測量技術(shù)有限公司
 
詳細介紹:

    ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀,主要用于微位移部件的測量,角度變化量的監(jiān)測,移動平臺運動情況的檢測,及光刻機幾何量的測量,數(shù)控機床幾何量的測量,zui多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。具有以下性能優(yōu)勢
l  真正意義上的雙頻激光干涉儀,兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別。德國耶拿爾公司是為數(shù)不多的雙頻激光干涉儀的制造商,*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。
l  全部部件皆在德國生產(chǎn)制造,絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡,是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l   激光器壽命更長,可達20000小時,激光穩(wěn)頻精度高,一小時內(nèi)為±0.002ppm,在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm。
l  干涉鏡采用差分干涉原理,系統(tǒng)精度更高,可達±0.4ppm。
l  計算機輔助光路調(diào)整,調(diào)整結(jié)果更準確。
l  采樣頻率更快,zui高達1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l  被測物體zui大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器,分辨率達0.6nm(當移動速度為1m/s時,線性分辨率更可高達為0.1nm)。
l   無加速度限制;當光線微弱時,性能也十分穩(wěn)定。
l  信號延時<200ns;對電磁干擾不敏感。
l  對于多軸聯(lián)動的復(fù)雜光路測量和微位移測量,ZLM800型是理想的選擇。

技術(shù)參數(shù)
型號:ZLM800
使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長:
632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度:
一小時2x10-9±0.002ppm
壽命內(nèi)2x10-8±0.02ppm
系統(tǒng)精度(0-40℃時):
±0.4ppm
光束直徑:
6mm可選3.2mm
激光管突發(fā)zui大輸出功率:
1mW (激光等級2)
每束光可測量的軸數(shù):
zui多6
線性測量距離:
40m,可擴展為120m
角度測量范圍:
± 15°,20m軸線范圍
平面度測量范圍:
20m行程
直線度測量范圍:
± 5mm,2m10m行程,
選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍:
± 5mm,2m10m行程,
30m行程需用角度干涉儀
zui大速度:
4m/s可選16m/s
80rad/s,角速度
zui大加速:
無限制
zui高采樣頻率:
內(nèi)部1MHz,外部40MHz
預(yù)熱時間:
10分鐘
精度/非線性:
±0.3nm (角隅反射鏡
±0.1nm (平面反射鏡
距離測量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
距離測量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中時
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
線性度測量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
線性度測量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中時
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度測量精度:
±0.5ppm實測值
角度測量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
角度測量精度:
±0.1ppm實測值
平面度測量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
平面度測量精度:
±0.2%實測值
±0.05 弧度/米運行距離
直線度測量分辨率:
36nm10m行程
7.25nm,2m行程
直線度測量精度:
±0.5%實測值,2m行程
± 2.5%實測值,10m行程
垂直度測量分辨率:
36nm,10m行程
7.25nm2m行程
垂直度測量精度:
±0.5%實測值2m,± 0.5弧秒*
±2.5%實測值10m,± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口:
積分信號
32 Bit (
實時時間
Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標準:
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境:
溫度:15°C-30°C
濕度:<90%無冷凝
儲存環(huán)境:
溫度:10°C-40°C
濕度:<95%無冷凝

應(yīng)用案例
以下是為*設(shè)計的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個應(yīng)用案例。在*個案例中,用兩個3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個擺鏡的擺動,實時測試兩個擺鏡對應(yīng)量(俯仰、偏擺和位移)的差異情況。在第二個案例中,用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況,2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運動情況。


 
以下是為國內(nèi)某研究所某項目設(shè)計的ZLM800測量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測物體放置在密閉箱中,密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標Ⅰ、被監(jiān)視目標Ⅱ的X、Y向的角度變化量,以及這兩個目標在Z方向的相對變化量。


ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖





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